М 77 Монте-Карло моделирование процессов роста наноструктур с алгоритмом планирования событий на шкале времени / А. В. Зверев [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, № 3-4. - С. 119-127 : ил. - Библиогр. : с. 127 (18 назв.) Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КИНЕТИКА РОСТА -- ИСПАРЕНИЕ -- ОТЖИГ -- КРЕМНИЕВЫЕ НАНОВИСКЕРЫ |
И 88 Использование имплантации ионов водорода и последующего высокотемпературного отжига для уменьшения дефектности эпитаксиального кремния на сапфире / П. А. Александров [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 9. - С. 30-32 : рис., табл. - Библиогр. : с. 32 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ИМПЛАНТАЦИЯ -- КРЕМНИЙ-НА-САПФИРЕ -- ОТЖИГ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ |
Ш 78 Шомахов, З. В. Электропроводность свинцово-силикатного стекла в процессах нагрева и изотермического отжига / З. В. Шомахов, О. А. Молоканов, А. М. Кармоков // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 7. - С. 14-17 : рис. - Библиогр. : с. 17 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СТЕКЛО СВИНЦОВО-СИЛИКАТНОЕ -- ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ -- ОТЖИГ ИЗОТЕРМИЧЕСКИЙ -- РАВНОВЕСИЯ ФАЗОВЫЕ Аннотация: Экспериментально исследованы температурная зависимость и кинетика электропроводности свинцово-силикатного стекла С87-2. Получены значения энергии активации электропроводности в разных температурных диапазонах, соответствующих разным механизмам проводимости. Установлено влияние массопереноса под действием электрического поля на электропроводность. Проведены оценки времени установления фазового равновесия в структуре стекла в зависимости от температуры отжига |
И 88 Сивков, А. А. Исследования продукта плазмодинамического синтеза системы С-N после высокотемпературного отжига / А. А. Сивков, А. Я. Пак, И. А. Рахматуллин // Нанотехника. - 2011. - № 1. - С. 50-55 : рис., табл. - Библиогр. : с. 55 (19 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СИНТЕЗ ПЛАЗМОДИНАМИЧЕСКИЙ -- ТЕРМОГРАФИЯ -- ОТЖИГ ВЫСОКОТЕМПЕРАТУРНЫЙ -- НИТРИД УГЛЕРОДА Аннотация: Приведены результаты поисковых исследований ультрадисперсного продукта, синтезированного в гиперскоростной струе углеродной электроразрядной плазмы в азотной атмосфере, методами электронной сканирующей и просвечивающей микроскопии, термографии и ИК-Фурье спектроскопии. Исследования проведены с целью очистки продукта от примесных углеродных фаз и оценки термостойкости ковалентного нитрида углерода |
С 58 Создание с помощью MOCVD-технологии наноструктурированных композиционных материалов на основе многостенных углеродных нанотрубок / А. И. Кириллов [и др.] // Нанотехника. - 2011. - № 1. - С. 72-78 : рис. - Библиогр. : с. 78 (4 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОТРУБКИ -- НАНОТРУБКИ УГЛЕРОДНЫЕ МНОГОСТЕННЫЕ -- MOCVD -- ХРОИ -- ВОЛЬФРАМ Аннотация: Разработаны установки и MOCVD-технология получения и выделения свободных, выровненных по толщине макроцилиндров со стенками из радиально ориентированных МУНТ. Обнаружено, что скорость осаждения МУНТ практически не изменяется в течение времени осаждения. Получены образцы наноструктурированных композитов на основе макроцилиндров со стенками из радиально ориентированных МУНТ с покрытием пиролитического хрома и пиролитического вольфрама, карбидов и оксидов на их основе. Высокотемпературный отжиг полученных композитов приводит к образованию наноструктурированных оксидов металлов, сохраняющих форму темплата |
О-75 Особенности синтеза наночастиц серебра в кварцевом стекле при низкоэнергетической ионной имплантации / А. Л. Степанов [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 7-8. - С. 108-111 : рис. - Библиогр. : с. 111 (19 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СИНТЕЗ НАНОЧАСТИЦ СЕРЕБРА -- СЕРЕБРО -- СТЕКЛО КВАРЦЕВОЕ -- ИМПЛАНТАЦИЯ ИОННАЯ НИЗКОЭНЕРГЕТИЧЕСКАЯ Аннотация: В работе представлены результаты исследования композиционных материалов на основе кварцевого стекла с наночастицами (НЧ) серебра. Синтез НЧ осуществлен методом высокодозовой низкоэнергетической (30 кэВ) имплантации ионов Ag+. После проведения имплантации образцы были подвергнуты термическому отжигу в атмосфере аргона при температуре 300 °С в течение одного часа. Синтезирование НЧ серебра демонстрируют характерную полосу оптического поглощения, связанную с эффектом поверхностного плазменного резонанса (ППР). С ростом ионной дозы наблюдается длинноволновое смещение максимума ППР полосы, которое коррелирует с увеличением размеров полусферических выступов, обнаруженных на поверхности образцов методом атомно-силовой микроскопии. Полученные результаты указывают на увеличение среднего размера НЧ. Показано, что постимплантационный термический отжиг позволяет изменять размеры НЧ, что представляет технологические возможности синтеза НЧ и контроля их размеров в тонком приповерхностном слое диэлектрика |
О-62 Оптимизация условий формирования тонких пленок ZnO для использования в интегральных МЭМС-устройствах / Д. Г. Громов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 27-30 : рис. - Библиогр. : с. 30 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ZNO -- СОПРОТИВЛЕНИЕ УДЕЛЬНОЕ -- ПЛЕНКА ТОНКАЯ -- ПЬЕЗОЭФФЕКТ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ -- МЭМС-УСТРОЙСТВА Аннотация: Представлены результаты исследований тонких пленок ZnO для использования в составе интегральных МЭМС-устройствах. Пленки ZnO:Ga получены в процессе магнетронного распыления соответствующей мишени в среде аргона без нагрева подложки. Показано, что удельное сопротивление и стабильность во времени пленок ZnO:Ga существенно зависит от их толщины, воздействия солнечного излучения, внешней окружающей среды. Комплекс доведенных исследований указывает на то, что ужиной нестабильности тонких пленок ZnO являются процессы генерации и залечивания кислородных вакансий, создающие донорные уровни в запрещенной зоне ZnO. Для формирования пленок ZnO с пьезоэлектрическими свойствами требуется осаждение в среде кислорода или последующий отжиг в аналогичной среде, а повышения стабильности пленок во времени можно достигнуть с помощью покрытия, защищающего от воздействия внешней газовой среды |
М 91 Мустафаев, А. Г. Управление технологическим процессом формирования структур интегральных элементов / А. Г. Мустафаев, А. М. Савинова, П. М. Мирзаева // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 3. - С. 20-23 : рис. - Библиогр. : с. 23 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): УПРАВЛЕНИЕ ПРОЦЕССОМ -- ЭЛЕМЕНТЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ -- ПРОЦЕСС ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ -- МОДЕЛЬ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА Аннотация: Современные технологические процессы формирования структур интегральных элементов обеспечиваются использованием низкотемпературных неравновесных импульсных и радиационно-стимулированных технологических операций. Решение задачи управления технологическими процессами основывается на понимании взаимосвязи между свойствами изделий, особенностями технологии их изготовления и характеристиками оборудования, с помощью которого реализуется эта технология. Разработанные подходы управления технологическими процессами позволяют исключить субъективный фактор и повысить эффективность систем управления. Показано, что основными технологическими операциями, существенно влияющими на выходные характеристики интегральных элементов при их производстве, являются ионная имплантация, отжиг, травление. Исследование и моделирование процессов на этих операциях позволяют выработать рекомендации по управлению и разработать алгоритмы эффективного управления технологическими процессами формирования структур интегральных элементов |
А 19 Аверин, И. А. Исследование процессов рекристаллизации алюминиевой фольги — стадии получения пористого оксида алюминия / И. А. Аверин, И. А. Губич // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 6. - С. 26-28 : рис. - Библиогр.: с. 28 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РЕКРИСТАЛЛИЗАЦИЯ -- ПОРИСТЫЙ ОКСИД АЛЮМИНИЯ -- ОТЖИГ ТЕРМИЧЕСКИЙ -- МИКРОСКОПИЯ АТОМНО-СИЛОВАЯ -- МИКРОСКОПИЯ ОПТИЧЕСКАЯ Аннотация: Представлены результаты исследования процесса рекристаллизации алюминиевой фольги. Выявлены закономерности образования рекристаллизованных зерен при изменении температуры и времени отжига |
П 88 Пугачевский, М. А. Фотокаталитические свойства наночастиц диоксида титана, полученных методом лазерной абляции / М. А. Пугачевский // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 7-8. - С. 18-21 : рис. - Библиогр.: с. 21 (17 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОЧАСТИЦЫ -- ИЗЛУЧЕНИЕ ЛАЗЕРНОЕ -- НАНОЧАСТИЦЫ ДИОКСИДА ТИТАНА -- МЕТОД ЛАЗЕРНОЙ АБЛЯЦИИ -- ТЕМПЕРАТУРА -- РАЗМЕРЫ НАНОЧАСТИЦ TIO2 -- ОТЖИГ ТЕРМИЧЕСКИЙ Аннотация: В работе исследуются фотокаталитические свойства наночастиц диоксида титана, аблированных импульсным лазерным излучением. Изучается влияние на свойства частиц последующего отжига в печи при различной температуре. Показано, что фотокаталитическая активность частиц уменьшается с ростом температуры отжига. Ухудшение свойств связывается с увеличением размеров наночастиц TiO2 и со снижением поверхностных дефектов в процессе термического отжига |
О-11 О влиянии водорода на электрофизические свойства тонкопленочной структуры Ag/Wox/W с эффектом резистивных переключений / Р. И. Романов, В. В. Зуев, В. Ю. Фоминский, А. Г. Гнедовец, М. И. Алымов // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 7-8. - С. 22-28 : рис. - Библиогр.: с. 28 (20 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВОДОРОД -- НАНОЧАСТИЦЫ -- ПЕРЕКЛЮЧЕНИЯ РЕЗИСТИВНЫЕ -- СВОЙСТВА ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ -- СТРУКТУРА ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ Ag/Wox/W -- ХАРАКТЕРИСТИКИ ВОЛЬТАМПЕРНЫЕ -- ОКСИД ВОЛЬФРАМА ГАЗОЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ AG/WOX/W Аннотация: Созданы тонкопленочные структуры на основе газочувствительного оксида вольфрама Ag/WOx/W, в которых наблюдался эффект биполярных резистивных переключений. Вольтамперные характеристики структур исследовались на воздухе лабораторной влажности, а затем анализировалось их изменение при подаче водорода в камеру до концентрации 2 % в воздухе. Проведен анализ химического состояния поверхностных слоев полученных структур методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии. Морфология и структурное состояние исследовались методами сканирующей атомно-силовой и электронной микроскопии, а также микрорамановской спектроскопии. Выраженная реакция на водород обнаружена в структуре Ag/WOx/W, подвергнутой дополнительной термической обработкена воздухе при 200 °С. Отжиг этой структуры вызывал формирование наночастиц серебра с оксидной оболочкой на поверхности оксида вольфрама. Образование наночастиц обуславливало изменение контактных свойств и обеспечивало эффективный доступ водорода к контактным областям, что проявилось в увеличении токопрохождения в низко- и высокорезистивных состояниях этой структуры. Сравнение реакции на водород структур WOx/W и Ag/WOx/W позволило предположить, что водород оказывал существенное влияние на механизм формирования проводящих серебряных нитей в оксидном слое и химическое состояние границы за счет изменения кинетики окислительно-восстановительных электрохимических процессов в контактных областях Ag/WOx. Представленные результаты иллюстрируют возможность получения датчиков водорода, функционирующих на новых физических принципах |
К 61 Колпаков, А. Я. Влияние отжига в вакууме на внутренние напряжения в углеродных покрытиях, сформированных при различной ориентации подложки относительно оси потока импульсной углеродной плазмы / А. Я. Колпаков, А. И. Поплавский, М. Е. Галкина, А. О. Беляева, Ж. В. Герус // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 10. - С. 25-28. - Библиогр.: с. 28 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВНУТРЕННИЕ НАПРЯЖЕНИЯ -- ОТЖИГ -- АМОРФНЫЕ УГЛЕРОДНЫЕ -- ДЕФЕКТЫ -- АЛМАЗОПОДОБНЫЕ ПОКРЫТИЯ Аннотация: Исследовано влияние вакуумного отжига на значение внутренних напряжений в аморфных углеродных алмазоподобных покрытиях двух типов, полученных импульсным вакуумно-дуговым методом при различной ориентации подложки относительно оси потока углеродной плазмы (DLC-I, DLC-II). Полученные результаты могут быть использованы при выборе режимов термообработки этих покрытий в целях снижения внутренних напряжений, что позволит расширить область применения DLC покрытий в микромеханике и МЭМС |
У 18 Уваров, И. В. Особенности изготовления металлических кантилеверов наноразмерной толщины / И. В. Уваров, В. В. Наумов, И. И. Амиров // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 11. - С. 5-9. - Библиогр.: с. 9 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ -- НАНОКОНТИЛЕВЕР -- ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ -- ОСТАТОЧНЫЕ НАПРЯЖЕНИЯ -- ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ -- ПОВЕРХНОСТЬ Аннотация: Представлена методика изготовления металлических нанокантилеверов. Кантилеверы имели трехслойную структуру и изготавливались в двух вариантах: Cr/Al/Cr и Ti/Al/Ti. Толщина кантилеверов составляла 40, 80 и 120 нм. Отношение длины кантилевера к толщине достигало 2500. Освобождение кантилеверов выполнялось путем травления жертвенного слоя в плазме SFfi. При изготовлении кантилеверов Cr/Al/Cr применялся вакуумный термический отжиг. Для кантилеверов Ti/Al/Ti важным моментом являлся подбор режима освобождения |
П 27 Переключаемость перовскитных микрообластей пленок ЦТС, локально отожженных фемтосекундным лазером инфракрасного диапазона / Н. Ю. Фирсова, А. С. Елшин, М. А. Марченкова, А. К. Болотов, М. С. Иванов, И. П. Пронин, С. В. Сенкевич, Д. А. Киселев, Е. Д. Мишина // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С. 43-47 : граф., рис. - Библиогр.: с. 46 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЦТС -- КРИСТАЛЛИЗАЦИЯ -- ФЕМТОСЕКУНДНЫЙ ЛАЗЕРНЫЙ ОТЖИГ -- АТОМНО-СИЛОВАЯ МИКРОСКОПИЯ -- СЕГНЕТОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ -- ВТОРАЯ ГАРМОНИКА -- ПЬЕЗООТКЛИК Аннотация: Представлены результаты исследования локальных областей перовскита, сформированного в пленке ЦТС при лазерном отжиге. Особенностью методики является, во-первых, использование фемтосекундных лазерных импульсов, обеспечивающих неинвазивность необлученных областей, а во-вторых, использование длины волны из области прозрачности пленки, не попадающей в область поглощения металлического подслоя |