Л 93 Любимский, В. М. Изгиб длинной прямоугольной двухслойной пластинки при изменении температуры [Текст] / В. М. Любимский // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 6-11 : рис. - Библиогр. : с. 11 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): ДЛИННАЯ СОСТАВНАЯ ПРЯМОУГОЛЬНАЯ ПЛАСТИНА -- ТЕМПЕРАТУРНЫЕ ОТКЛОНЕНИЯ -- ДЕФОРМАЦИЯ -- НАПРЯЖЕНИЕ Аннотация: Получена система дифференциальных уравнений изгиба длинной прямоугольной двухслойной пластинки при изменении температуры, позволяющая определять прогибы, деформации механические напряжения пластинки при различных условиях опирания краев. Получены точные решения системы дифференциальных уравнений для свободной, жестко защемленной и свободно опертой пластинок. Сравнение расчетных и экспериментальных результатов показало их хорошее согласие. |
Е 30 Егоров, Г. П. Измерение внутренних напряжений в нанопленках in-situ / Г. П. Егоров, А. А. Волков, А. Л. Устюжанинов // Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 7-8 . - С. 74-78 : табл., рис. - Библиогр. : с. 78 (11 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОПЛЕНКИ IN-SITU -- МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ВНУТРЕННИХ НАПРЯЖЕНИЙ -- ПЛАСТИНА КОНСОЛЬНО ЗАКРЕПЛЕННАЯ Аннотация: Описан метод измерения внутренних напряжений в нанопленках in-situ. Внутренние механические напряжения непосредственно влияют на работоспособность пленочных структур в микроэлектронных приборах. Метод основан на измерении прогибов консольно закрепленной пластины во время осаждения нанопленок в вакууме. В работе использован магнетронный способ нанесения покрытий в вакууме. Для определения прогиба консоли измерялась емкость конденсатора, образованного неподвижной обкладкой, закрепленной на стойке, и обкладкой, прикрепленной к свободному концу тонкой пластины. Для измерения малой емкости конденсатор включен в цепь мультивибратора. Проведены эксперименты по измерению напряжений in-situ при нанесении пленок Ti и Си на медные подложки. Установлено, что напряжения, возникающие в титановой пленке, - растягивающие, а в медной пленке - сжимающие, а их величина существенно меняется при напуске воздуха в вакуумную камеру. Полученные результаты показывают перспективность данного метода исследования механических напряжений в нанопленках не только для прямого измерения возникающих напряжений, но и эффектов взаимодействия газов с наноструктурными пленками in-situ |
П 96 Пьезоэлектрический резонансный датчик магнитного поля с планарной возбуждающей катушкой / Д. А. Бурдин, Ю. К. Фетисов, Д. А. Чашин, Н. А. Экономов, Е. М. Савченко // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 37-40 : рис. - Библиогр.: с. 40 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК МАГНИТНОГО ПОЛЯ -- ДАТЧИК ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ РЕЗОНАНСНЫЙ -- СИЛА АМПЕРА -- ПЬЕЗОЭФФЕКТ -- ПЛАСТИНА БИМОРФНАЯ -- ПЬЕЗОЭЛЕКТРИК Аннотация: Изготовлен и исследован пьезоэлектрический датчик постоянного магнитного поля, использующий комбинацию силы Ампера, пьезоэффекта и акустического резонанса. Датчик представляет собой биморфную пластину из цирконата-титаната свинца, один конец которой закреплен, а на другом расположена планарная электромагнитная катушка. При пропускании через катушку тока с частотой, равной частоте изгибных колебаний пластины, пьезоэлектрик генерирует переменное напряжение, амплитуда которого пропорциональна постоянному полю. Датчик имеет чувствительность ~200 В/(А • Тл) в диапазоне полей ~10 -7...0,3 Тл и диапазоне температур 220...370К |
В 58 Влияние микроструктуры подложки на продольную корреляционную длину пористой системы анодного оксида алюминия: исследование методами малоугловой дифракции / А. П. Чумаков, И. В. Росляков, К. С. Напольский, А. А. Елисеев , А. В. Лукашин, H. Eckerlebe, W. G. Bouwman, Д. В. Белов, А. И. Окороков, С. В. Григорьев // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 9-10. - С. 54-60 : рис., табл. - Библиогр.: с. 60 (26 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСТРУКТУРА -- МЕТОДЫ МАЛОУГЛОВОЙ ДИФРАКЦИИ -- АЛЮМИНИЙ -- ПЛАСТИНА -- МЕМБРАНЫ СИНТЕЗИРОВАННЫЕ -- КИСЛОТА -- ПЛЕНКА ПОРИСТАЯ ОКСИДНАЯ -- КОРРЕЛЯЦИЯ -- НЕЙТРОН Аннотация: Методами малоугловой дифракции нейтронов и синхротронного излучения исследованы три серии мембран анодного оксида алюминия. Образцы получены окислением алюминиевых пластин с использованием серной и щавелевой кислот при различных напряжениях и отличаются величиной расстояния между порами. В результате экспериментов по малоугловой дифракции установлена линейная зависимость между средним размером зерна исходной алюминиевой пластины и средней прямолинейностью пор синтезированных мембран. Обнаруженная корреляция обусловлена влиянием кристаллографической ориентации зерен исходной алюминиевой пластины на рост пористой оксидной пленки |