Т 19 Тарнавский , А. Г. Влияние защитных масок при отжиге кремниевой пластины на формирование наноразмерных примесей фосфора [Текст] / Г. А. Тарановский , В. С. Анищик, А. Г. Тарнавский // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 57-65 : граф. - Библиогр.: с. 65 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МОДЕЛИРОВАНИЕ -- ПРОВОДИМОСТЬ -- ЗАЩИТНЫЕ МАСКИ -- ПРИМЕСИ ФОСФОРА |
С 56 Современные тенденции развития микросистемной техники [Текст] / В. Д. Вернер [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр.: с. 6 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА -- МЭМС -- РЫНОК МСТ -- КРЕМНИЕВАЯ ТЕХНОЛОГИЯ -- ТЕМП РАЗВИТИЯ Аннотация: Рассмотрены основные изменения и тенденции развития микросистемной техники к началу 2008 г. Отмечено существенное повышение роли электронной составляющей конструкции МЭМС вследствие введения систем самотестирования и развития интерфейсных устройств беспроводной связи. Тенденция постоянного снижения цены вызывает поиск новых областей применения МЭМС (бытовая техника), новых материалов (полимеров) и новых технологических решений. Производство МЭМС по-прежнему на 80% основано на микрообработке кремния, в связи с этим освоены технологии корпусирования на пластине и 3D-сборка, крупные фирмы переводят свое производство на пластины 200мм. Рассмотрены положительные и негативные аспекты рассмотренных тенденций |
Т 21 Тарнавский, Г. А. Легирование наноколонн рельефа поверхности пластины кремния / Г. А. Тарнавский // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 6 . - С. 20-24. - Библиогр. : с. 24 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МОДЕЛИРОВАНИЕ КОМПЬЮТЕРНОЕ -- ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ -- ИМПЛАНТАЦИЯ Аннотация: На основе компьютерного моделирования проведено исследование технологического процесса имплантации легирующих примесей акцепторного и донорного типов (бора, фосфора и мышьяка) в кремниевую пластину со сложным поверхностным нанорельефом |
Е 30 Егоров, Г. П. Измерение внутренних напряжений в нанопленках in-situ / Г. П. Егоров, А. А. Волков, А. Л. Устюжанинов // Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 7-8 . - С. 74-78 : табл., рис. - Библиогр. : с. 78 (11 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОПЛЕНКИ IN-SITU -- МЕТОД ИЗМЕРЕНИЯ ВНУТРЕННИХ НАПРЯЖЕНИЙ -- ПЛАСТИНА КОНСОЛЬНО ЗАКРЕПЛЕННАЯ Аннотация: Описан метод измерения внутренних напряжений в нанопленках in-situ. Внутренние механические напряжения непосредственно влияют на работоспособность пленочных структур в микроэлектронных приборах. Метод основан на измерении прогибов консольно закрепленной пластины во время осаждения нанопленок в вакууме. В работе использован магнетронный способ нанесения покрытий в вакууме. Для определения прогиба консоли измерялась емкость конденсатора, образованного неподвижной обкладкой, закрепленной на стойке, и обкладкой, прикрепленной к свободному концу тонкой пластины. Для измерения малой емкости конденсатор включен в цепь мультивибратора. Проведены эксперименты по измерению напряжений in-situ при нанесении пленок Ti и Си на медные подложки. Установлено, что напряжения, возникающие в титановой пленке, - растягивающие, а в медной пленке - сжимающие, а их величина существенно меняется при напуске воздуха в вакуумную камеру. Полученные результаты показывают перспективность данного метода исследования механических напряжений в нанопленках не только для прямого измерения возникающих напряжений, но и эффектов взаимодействия газов с наноструктурными пленками in-situ |
П 32 Пивоненков, Б. И. Трехкомпонентный пьезорезистивный мэм-акселерометр / Б. И. Пивоненков, В. М. Школьников // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 43-47 : рис., табл., граф. - Библиогр. : с. 47 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТР ПЬЕЗОРЕЗИСТИВНЫЙ -- АКСЕЛЕРОМЕТР ТРЕХКОМПОНЕНТНЫЙ -- МЭМС Аннотация: Описан трехкомпонентный пьезорезистивный МЭМ-акселерометр с одним упругим элементом, с воздушным демпфированием и ограничителями перемещения груза. Обоснованы и рассчитаны оптимальные параметры акселерометра: внутренний размер чувствительного элемента для разных толщин пластины, длина и ширина перемычек, уточнены требования к тензорезисторам. Приведены оптимальные параметры акселерометра на диапазон 10 g двух толщинах подложки: 450 и 600 мкм. Даны предложения по параметрам акселерометра для серийного освоения и по модификациям, в которых его целесообразно выпускат |
Т 21 Тарнавский, Г. А. Проектирование дислокаций примесей в выступающем элементе нанорельефа поверхности кремниевой пластины / Г. А. Тарнавский, С. С. Чесноков // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 7-11 : рис. - Библиогр. : с. 11 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МОДЕЛИРОВАНИЕ КОМПЬЮТЕРНОЕ -- ЛЕГИРОВАНИЕ КРЕМНИЯ -- ИМПЛАНТАЦИЯ -- ПРИМЕСИ ДОНОРНЫЕ И АКЦЕПТОРНЫЕ -- НАНОКОЛОННЫ РЕЛЬЕФА Аннотация: На основе компьютерного моделирования проведено исследование технологического процесса имплантации легирующих примесей акцепторного и донорного типов (бора, фосфора и мышьяка) в кремниевую пластину с выступающим нанорельефом поверхности |
П 27 Амеличев, В. В. Перспективная технология изготовления высокодобротных кремниевых микромеханических резонаторов / В. В. Амеличев, И. В. Годовицын, Д. А. Сайкин // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 39-45 : рис. - Библиогр. : с. 45 ( 11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РЕЗОНАТОРЫ КРЕМНИЕВЫЕ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ТЕХНОЛОГИЯ МИКРООБРАБОТКИ КРЕМНИЯ -- КНИ-ПЛАСТИНЫ Аннотация: Описана разработка технологии изготовления высокодобротных кремниевых резонаторов с использованием КНИ-пластин. К достоинствам разработанной технологии можно отнести необходимость только одного процесса анодной посадки и только одного стекла, обработка которого ограничивается формированием углублений для геттера. Обработка КНИ-пластины и стекла ведется групповым способом, анодная сварка проводится на заключительном этапе обработки. Сформирована структура резонатора в герметизированной камере. Показано, что значения основных электрофизических параметров структуры (сопротивление подвесов, наряжение притягивания) соответствуют расчетным. Проанализированы перспективы разработанной технологии |
Р 17 Разработка ионно-пучкового метода изготовления кремниевых нанопроводов / Б. А. Гурович [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2012. - № 1-2. - С. 90-93 : рис. - Библиогр. : с. 93 (7 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОПРОВОДА -- НАНОПРОВОДА КРЕМНИЕВЫЕ -- ОБЛУЧЕНИЕ ИОННОЕ -- МАСКА ЛИТОГРАФИЧЕСКАЯ Аннотация: Предложен новый метод изготовления кремниевых нанопроводов на поверхности стандартной кремниевой пластины с помощью ионного облучения через литографическую маску. Изучены условия синтеза оксида кремния при облучении кремниевой подложки протонами с энергий ~1 кэВ. Продемонстрирована возможность синтеза оксида кремния в области геометрической тени под формируемым монокристаллическим кремниевым нанопроводом |
М 61 Миниатюрный тензорезистивный преобразоватеаь давления с высокой чувствительностью / И. В. Головицын, В. В. Амеличев, В. В. Панков, А. Н. Сауров // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 26-29 : рис., табл. - Библиогр.: с. 29 (19 назв.) . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕНЗОРЕЗИСТОРЫ -- ТЕХНОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТНОЙ МИКРООБРАБОТКИ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ДАВЛЕНИЯ МИНИАТЮРНЫЕ Аннотация: Описана разработка технологического маршрута и изготовление миниатюрного преобразователя давления на КНИ-структуре, предложенного ранее. Преобразователь имеет тензорезисторы из монокристаллического кремния и мембрану из поликристаллического кремния. Структура преобразователя формируется с помощью технологии поверхностной микрообработки с применением односторонней обработки пластины. Изготовлены два варианта преобразователя - с кольцевым концентратором напряжений на мембране, сформированным из пассивирующего слоя толщиной 1,2 мкм, и без концентратора. Проведены измерения основных параметров преобразователя при температуре +20, -50 и +60 °С. Оба варианта демонстрируют чувствительность около 24 мВ-(В•атм)-1. Проведен анализ параметров преобразователей с точки зрения влияния технологических факторов |
А 92 Атапин, В. Э. Метод и устройство для регистрации акустических волн / В. Э. Атапин, С. С. Байков, И. В. Кузьмина // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 7. - С. 52-54 : рис. - Библиогр.: с. 54 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ГЕОФОН -- МИКРОФОН -- ИНТЕРФЕРОМЕТР ТРЕХЗЕРКАЛЬНЫЙ -- ВОЗБУЖДЕНИЯ ПАРАМЕТРИЧЕСКИЕ -- КОЛЕБАНИЯ ПАРАМЕТРИЧЕСКИЕ -- КОЛЕБАНИЯ ИЗГИБНЫЕ -- КОЛЕБАНИЯ ПРОДОЛЬНЫЕ Аннотация: Разработан метод регистрации акустических волн с помощью параметрических колебаний пластины. Рассмотрено практическое устройство регистрации акустических волн ультразвукового диапазона |
П 53 Получение нанопористых неорганических пластин / Е. С. Трофимчук, Н. И. Никонорова, Е. А. Нестерова, С. А. Якухнов, Д. К. Мальцев, М. Н. Иноземцева, А. Л. Волынский , Н. Ф. Бакеев // Российские нанотехнологии. - 2012. - Т. 7, № 7-8. - С. 41-46 : рис., табл. - Библиогр.: с. 46 (27 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕТОД ПОЛУЧЕНИЯ ПОРИСТЫХ ПЛАСТИН -- МАТРИЦЫ ПОЛИМЕРНЫЕ -- МЕХАНИЗМ КРЕЙЗИНГА -- ДИОКСИД КРЕМНИЯ -- ГИДРОКСИАПАТИТ Аннотация: Описан оригинальный метод получения пористых пластин из различных неорганических веществ (диоксид кремния, гидроксиапатит, серебро) с использованием полимерных матриц, высокодисперсная структура которых сформирована по механизму крейзинга. Структура пористой пластины и ее характеристики могут варьироваться в широких пределах (диаметр пор может изменяться от нескольких нанометров до нескольких микрон) и зависят от морфологии исходной полимерной матрицы, степени ее деформации, количества и способа введения неорганического компонента. Сформулированы условия формирования пластины: степень деформации полимерной пленки должна быть не менее 50 %, содержание наполнителя — не менее 10 об. % |
П 96 Пьезоэлектрический резонансный датчик магнитного поля с планарной возбуждающей катушкой / Д. А. Бурдин, Ю. К. Фетисов, Д. А. Чашин, Н. А. Экономов, Е. М. Савченко // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 3. - С. 37-40 : рис. - Библиогр.: с. 40 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК МАГНИТНОГО ПОЛЯ -- ДАТЧИК ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ РЕЗОНАНСНЫЙ -- СИЛА АМПЕРА -- ПЬЕЗОЭФФЕКТ -- ПЛАСТИНА БИМОРФНАЯ -- ПЬЕЗОЭЛЕКТРИК Аннотация: Изготовлен и исследован пьезоэлектрический датчик постоянного магнитного поля, использующий комбинацию силы Ампера, пьезоэффекта и акустического резонанса. Датчик представляет собой биморфную пластину из цирконата-титаната свинца, один конец которой закреплен, а на другом расположена планарная электромагнитная катушка. При пропускании через катушку тока с частотой, равной частоте изгибных колебаний пластины, пьезоэлектрик генерирует переменное напряжение, амплитуда которого пропорциональна постоянному полю. Датчик имеет чувствительность ~200 В/(А • Тл) в диапазоне полей ~10 -7...0,3 Тл и диапазоне температур 220...370К |
С 58 Создание монокристальных нанопроводов из кремния с использованием облучения ионами малых энергий / Б. А. Гурович, К. Е. Приходько, Д. А. Комаров, А. Н. Талденков // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 3-4. - С. 49-53 : рис. - Библиогр.: с. 53 (5 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОПРОВОДА -- КРЕМНИЙ -- МОНОКРИСТАЛЬНОСТЬ -- ИЗОЛЯЦИЯ ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ -- ТЕМПЕРАТУРА -- ОБЛУЧЕНИЕ ПЛАЗМЕННОЕ Аннотация: В работе предложен способ создания монокристальных кремниевых нанопроводов на поверхности кремниевой пластины путем формирования специально созданных протяженных структур с отрицательным углом наклона боковых стенок и последующего их окисления под действием облучения ионами кислорода малых энергий при температуре 400 °C. Форма и размеры структур подбирались таким образом, чтобы, во-первых, в процессе окисления центральная часть нанопровода не подвергалась модификации, сохраняя монокристальность и уровень легирования исходного кремния, а во-вторых, чтобы обеспечить электрическую изоляцию нанопровода от пластины. Исследована зависимость глубины окисления от температуры и длительности плазменного облучения, а также электрические свойства сформированного оксида |
Г 55 Глухова , О. Е. Исследование распространения краевых волн в многослойных графеновых пластинах в зависимости от вида укладки слоев / О. Е. Глухова , Е. Л. Коссович // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 6. - С. 19-26 : рис. - Библиогр.: с. 26 (34 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВИДЫ УКЛАДКИ СЛОЕВ -- ПЛАСТИНЫ ГРАФЕНОВЫЕ -- ГРАФЕН МНОГОСЛОЙНОЙ -- ТИПЫ УКЛАДКИ СЛОЕВ ААА, ABA, ABC -- ПЛОТНОСТЬ -- МЕТОД ХАРРИСОНА КВАНТОВО-ХИМИЧЕСКИЙ Аннотация: Исследован прогиб многослойной графеновой пластины в рамках теории сплошной среды. Рассмотрено три вида укладки слоев (ориентации гексагональных элементов атомной сетки монослоя графена) — типов ААА, ABA, ABC. Для каждого из таких материалов были вычислены плотности. Также в работе были использованы явные модели, описывающие распространение изгибной краевой волны Коненкова в многослойных графеновых пластинах, модифицированные под указанные выше случаи. Можно сделать вывод, что наиболее прочными оказываются пластины из многослойного графена с типом укладки слоев АВС |
З-24 Залуцкая, А. А. Цветовая окраска нано-структурированной поверхности / А. А. Залуцкая, М. А. Проказников, А. В. Проказников // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 9. - С. 11-18 : рис. - Библиогр.: с. 18 (28 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОСТРУКТУРЫ -- ПОВЕРХНОСТЬ -- ПЛАСТИНЫ КРЕМНИЕВЫЕ -- ПЛАЗМОНЫ -- РАЗМЕРНОСТЬ ПОНИЖЕННАЯ Аннотация: Исследовались эффекты, связанные с изменением цветовой окраски кремниевых пластин с наноструктурированной поверхностью в зависимости от особенностей наноструктур. Окраска поверхности определяется захватом части падающего излучения волноводными, краевыми модами и рассеянием оставшегося излучения на поверхности. Цвет структуры связан с кривизной наноструктур, сформированных на поверхности |
В 58 Влияние микроструктуры подложки на продольную корреляционную длину пористой системы анодного оксида алюминия: исследование методами малоугловой дифракции / А. П. Чумаков, И. В. Росляков, К. С. Напольский, А. А. Елисеев , А. В. Лукашин, H. Eckerlebe, W. G. Bouwman, Д. В. Белов, А. И. Окороков, С. В. Григорьев // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 9-10. - С. 54-60 : рис., табл. - Библиогр.: с. 60 (26 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСТРУКТУРА -- МЕТОДЫ МАЛОУГЛОВОЙ ДИФРАКЦИИ -- АЛЮМИНИЙ -- ПЛАСТИНА -- МЕМБРАНЫ СИНТЕЗИРОВАННЫЕ -- КИСЛОТА -- ПЛЕНКА ПОРИСТАЯ ОКСИДНАЯ -- КОРРЕЛЯЦИЯ -- НЕЙТРОН Аннотация: Методами малоугловой дифракции нейтронов и синхротронного излучения исследованы три серии мембран анодного оксида алюминия. Образцы получены окислением алюминиевых пластин с использованием серной и щавелевой кислот при различных напряжениях и отличаются величиной расстояния между порами. В результате экспериментов по малоугловой дифракции установлена линейная зависимость между средним размером зерна исходной алюминиевой пластины и средней прямолинейностью пор синтезированных мембран. Обнаруженная корреляция обусловлена влиянием кристаллографической ориентации зерен исходной алюминиевой пластины на рост пористой оксидной пленки |
П 41 Побойкина, Н. В. Использование алмаза в качестве теплоотводяшего элемента: методы и устройства вырашивания алмазных пленок и пластин / Побойкина // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 3. - С. 23-27. - Библиогр.: с. 27 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ -- CVD-МЕТОД -- ПЛАСТИНЫ Аннотация: Приводится краткий обзор организаций, занимающихся в России выращиванием поликристаллических алмазных пленок. Рассмотрены наиболее распространенные в мире конструкции СВЧ плазменных технологических установок |