Н 25 Наноструктурные и морфологические свойства пленок srtio3 / А. А. Агасиев, Ч. Г. Ахундов [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 4. - С. 36-38 : рис. - Библиогр. : с.38 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ -- МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТИ Аннотация: Магнетpонным pаспылением получены пленки титана-та стpонция. Pассмотpена моpфология и стpуктуpа пленок. Определены сpедние pазмеpы (-1...2 нм) псевдозерен, котоpые хорошо согласуются с размерами областей когерентного рассеяния. Оценены межатомные расстояния Ti-O, Sr-O, O-O в неупорядоченных и поликристаллических слоях. С помощью атомно-силового и сканирующего туннельного микроскопов исследована поверхность пленки |
Р 68 Роль поверхности тонкопленочных катализаторов при росте углеродных нанотрубок в задачах электроники и сенсорной техники / И. И. Бобринецкий , В. К. Неволин , М. М. Симунин, И. А. Комаров> // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 5. - С. 2-5 : табл. - Библиогр. : с. 5 (12 наим.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОТРУБКИ -- КАТАЛИЗАТОР -- ОСАЖДЕНИЕ ХИМИЧЕСКОЕ -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ Аннотация: Исследованы аспекты роста углеродных нанотрубок на тонкопленочных катализаторах для решения задачи создания элементной базы интегральной наноэлектроники, а также особенности влияния диспергирования ультратонких пленок катализатора при нагреве до 650 °C на диаметр получаемых углеродных нанотрубок. Установлена зависимость диаметра углеродных нанотрубок от шероховатости поверхности ультратонких пленок. Разработаны методики синтеза планарных углеродных нанотрубок на многослойных катализаторах типа Cr-Ni-Cr?? ?? |
В 64 Возбуждение колебаний поляризации при прохождении электрического импульса в тонкой сегнетоэлектрической пленке / Е. Д. Мишина, А. С. Сигов, Е. В. Казанцева, В. М. Мухортов> // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7. - С. 13-15. - Библиогр. : с.15 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СЕГНЕТОЭЛЕКТРИКИ -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- ПРОЦЕССЫ ПЕРЕХОДНЫЕ БЫСТРОПРОТЕКАЮЩИЕ Аннотация: Проведено экспериментальное исследование динамики поляризации в тонкой сегнетоэлектрической пленке под действием электрического импульса. Затухание поляризации в тонкой пленке сопровождается осцилляциями около равновесного положения, это явление качественно описывается на основе феноменологической теории Гинзбурга |
С 51 Смолин, В. К. Тонкопленочные резистивные элементы первичных преобразователей датчиков / В. К. Смолин> // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 9. - С. 16-23 : рис. - Библиогр. : с. 23 (53 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РЕГИСТОР -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- ТЕХНОЛОГИЯ ФОРМИРОВАНИЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ПЕРВИЧНЫЕ Аннотация: Дан обзор конструкторско-технологических особенностей выполнения элементов первичных преобразователей датчиков различного функционального назначения, использующих в качестве чувствительных элементов тонкопленочные резисторы |
В 19 Васильев , В. А. Диффузионная модель роста и морфология поверхностей тонких пленок материалов / В. А. Васильев , П. С. Чернов> // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 11. - С. 11-16 : рис. - Библиогр. : с. 16 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ -- АВТОМАТ КЛЕТОЧНЫЙ СТОХАСТИЧЕСКИЙ Аннотация: Дан обзор моделей роста поверхностей материалов. Предложена оригинальная модель роста поверхности тонких пленок, представляющая собой стохастический клеточный автомат и учитывающая диффузию частиц. Она позволяет исследовать влияние температуры подложки, скорости и времени осаждения на параметры, характеризующие морфологию поверхности. Представлены результаты сравнения экспериментальных данных, полученных с помощью атомно-силовой микроскопии, и теоретических, полученных путем моделирования с использованием предложенной диффузионной модели |
Н 25 Наноструктура тонких пленок композита кремний - углерод, полученных методом магнетронного распыления / Л. Ю. Куприянов [и др.]> // Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 9-10. - С. 120-124 : рис., табл. - Библиогр. : с. 124 (16 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕТОД МАГНЕТРОННОГО РАСПЫЛЕНИЯ -- НАНОСТРУКТУРА -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- НАНОСТРУКТУРА ТОНКИХ ПЛЕНОК -- НАНОКОМПОЗИТ КРЕМНИЙ-УГЛЕРОД Аннотация: Методом послойного магнетронного распыления получены тонкие пленки нанокомпозита кремний - углерод. Толщина пленок составляет 110-470 нм, и они имеют слоистую наноструктуру, образованную слоями кремния и углерода толщиной 7-10 нм каждый. Рентгенографические исследования показали присутствие в составе пленок кристаллической фазы карбида кремния, образующегося на границах слоев. Спектры зеркального отражения в диапазоне 200-2500 нм содержат ряд максимумов, которые могут быть отнесены к спектрам поглощения аморфного кремния, аморфного углерода и разупорядоченного карбида кремния. Особенности спектров ИК поглощения указывают на возможность образования графеновых фаз низкой размерности в области контактов слоев кремния и углерода. Сделан вывод, что изученные пленки могут рассматриваться как перспективная база для разработки электродов литиевых батарей с улучшенными характеристиками |
Ф 79 Формирование пленок диоксида олова с вертикально ориентированными нанопорами / В. В. Симаков [и др.]> // Нанотехника. - 2011. - № 3. - С. 45-46 : рис. - Библиогр. : с. 46 (назв. 5) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДИОКСИД ОЛОВА -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- СЛОИ НАНОСТРУКТУРИРОВАННЫЕ Аннотация: Показана возможность получения методом реактивного высокочастотного магнетронного распыления покрытий из оксида олова, перспективных для широкого применения. Слои наноструктурированы, насыщены открытыми порами, ориентированными перпендикулярно подложке. Предложен механизм формирования покрытий, при котором размеры зерен определяются плотностью зародышеобразования. Показано, что плотностью зародышеобразования кристаллитов можно управлять, меняя рабочее давление в вакуумной камере |
Л 94 Люминофор-содержащие полимерные частицы: синтез и оптические свойства тонких пленок на их основе / Н. Н. Шевченко [и др.]> // Российские нанотехнологии. - 2012. - № 3-4. - С. 105-110 : рис., табл. - Библиогр. : с. 110 (25 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- ЧАСТИЦЫ -- ЧАСТИЦЫ ПОЛИМЕРНЫЕ ЛЮМИНОФОР-СОДЕРЖАЩИЕ -- КРИСТАЛЛЫ ФОТОННЫЕ -- МЕТОДЫ БЕЗЭМУЛЬГАТОРНОЙ ЭМУЛЬСИОННОЙ И ЗАТРАВОЧНОЙ СОПОЛИМЕРИЗАЦИИ -- СТРУКТУРЫ ТРЕХМЕРНОУПОРЯДОЧЕННЫЕ Аннотация: Для синтеза монодисперсных субмикронных частиц, в которых люминофор ковалентно связан с полимерной матрицей, применены методы безэмульгаторной эмульсионной и затравочной сополимеризации с введением люминофор-содержащего мономера в объем или оболочку частиц соответственно. Методами сканирующей электронной микроскопии и оптической спектроскопии (спектры отражения и люминесценции) показано, что частицы, полученные первым методом, обладают лучшей способностью к самосборке в тонкопленочные трехмерноупорядоченные структуры, проявляющие свойства фотонных кристаллов |
Р 24 Распознавание запахов дыма на основе анализа динамики отклика мультисенсорной микросистемы / В. В. Симаков, А. С. Ворошилов, В. В. Галушка, А. И. Гребенников, И. В. Синев, А. В. Смирнов, С. Д. Сякина, В. В. Кисин> // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 9. - С. 49-54 : рис. - Библиогр.: с. 54 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСИСТЕМА МУЛЬТИСЕНСОРНАЯ -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- ДИОКСИД ОЛОВА -- ДИНАМИКА ОТКЛИКА СЕНСОРА -- РАСПОЗНАВАНИЕ ЗАПАХОВ Аннотация: Исследовалась динамика отклика мультисенсорной микросистемы на воздействие газовоздушных смесей различного состава. Предварительная обработка сигналов микросистемы позволила повысить ее распознавательную способность при анализе запахов дыма от сгорания органических веществ |
С 87 Структура и СВЧ магнитная проницаемость тонких пленок кобальта / С. С. Маклаков, С. А. Маклаков, И. А. Рыжиков, К. Н. Розанов, А. В. Осипов, А. С. Набоко, В. А. Амеличев, С. В. Куликов> // Российские нанотехнологии. - 2012. - Т. 7, № 5-6. - С. 65-69 : рис., табл. - Библиогр.: с. 69 (29 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- ТЕКСТУРА КРИСТАЛЛОГРАФИЧЕСКАЯ -- ПРОНИЦАЕМОСТЬ МАГНИТНАЯ -- КОБАЛЬТ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ Аннотация: Обнаружено увеличение частоты ферромагнитного резонанса от 3 до 5.5 ГГц в тонких пленках Co при увеличении размера кристаллитов от 6 до 70 нм. Изменение структуры достигается увеличением скорости нанесения металла от 4.2 до 7.1 нм/мин при магнетронном распылении на постоянном токе. Пленки Со обладают одноосной кристаллографической текстурой. Положение оси текстуры меняется в зависимости от параметров нанесения Со, что влияет на планарную магнитную анизотропию. Предложена модель, описывающая обнаруженные изменения |
Н 61 Низкотемпературный синтез текстурированных пленок нитрида алюминия на инородных подложках для устройств микросистемной техники / А. М. Ефременко, А. В. Корляков, О. Н. Асташенкова, А. Н. Кривошеева> // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 25-30 : рис., табл. - Библиогр.: с. 30 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕКСТУРА -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- НИТРИД АЛЮМИНИЯ -- РАСПЫЛЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ -- ПЛЕНКИ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ -- НАПРЯЖЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Представлены результаты исследования процессов получения пленок нитрида алюминия методом высокочастотного магнетронного распыления. Показано влияние основных технологических параметров на свойства получаемых пленок, в том числе влияние электрического поля, образованного некомпенсированным зарядом на поверхности растущей пленки AlN. Предложен механизм возникновения остаточных механических напряжений в пленках AlN при ионно-плазменном осаждении |
Ф 34 Федотов, В. Г. Формирование спектров отражения и пропускания света тонкими трехмерными фотонно-кристаллическими пленками в режиме многоволновой дифракции / В. Г. Федотов, А. В. Селькин> // Российские нанотехнологии. - 2012. - Т. 7, № 9-10. - С. 65-70 : рис. - Библиогр.: с. 70 (11 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- РЕЖИМ МНОГОВОЛНОВОЙ ДИФРАКЦИИ -- СПЕКТРЫ ОТРАЖЕНИЯ -- КРИСТАЛЛЫ ФОТОННЫЕ -- РАСЧЕТ СПЕКТРОВ -- ПОЛОСЫ ЭКСТИНКЦИИ Аннотация: Исследованы спектры отражения и пропускания света тонкими пленками трехмерных опалоподобных фотонных кристаллов. С использованием аналитической теории динамической дифракции света, обобщенной на случай пространственно-периодической среды с высоким диэлектрическим контрастом, выполнен численный расчет спектров. Рассмотрены кинематические условия дифракции света на системе латеральных (111) и наклонных (11-1) кристаллических плоскостей с учетом границ раздела пленки. Установлено, что дифракция на наклонных плоскостях формирует дополнительные полосы экстинкции, не совпадающие по спектральному положению с пиками брэгговского отражения для соответствующих наклонных плоскостей |
А 91 Асташенкова, О. Н. Контроль физико-механических параметров тонких пленок / О. Н. Асташенкова, А. В. Корляков> // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 24-29 : рис. - Библиогр.: с. 29 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕМБРАНЫ -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- МОДУЛЬ ЮНГА -- НАПРЯЖЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИЕ -- СВОЙСТВА ТОНКИХ ПЛЕНОК -- СПОСОБЫ ИЗМЕРЕНИЯ МЕХАНИЧЕСКИХ НАПРЯЖЕНИЙ Аннотация: Представлена методика измерения и расчета сжимающих и растягивающих внутренних механических напряжений и модуля Юнга в однослойных и композиционных мембранных структурах на основе тонких пленок различных материалов. Приведены результаты измерения механических напряжений и модуля Юнга пленок различных материалов |
Э 94 Эффект резистивного переключения в оксидных пленках HfxAl 1 - xOy с переменным составом, выращенных методом атомно-слоевого осаждения / А. С. Батурин, К. В. Булах, И. П. Григал, К. В. Егоров, А. В. Заблоцкий, А. М. Маркеев, Ю. Ю. Лебединский, Е. С. Горнев, О. М. Орлов, А. А. Чуприк> // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 6. - С. 13-18 : рис. - Библиогр.: с. 18 (13 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЕТОД АТОМНО-СЛОЕВОГО ОСАЖДЕНИЯ -- ЭФФЕКТ РЕЗИСТИВНОГО ПЕРЕКЛЮЧЕНИЯ -- ПЛЕНКИ ОКСИДНЫЕ -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- МЕТОДИКА РЕНТГЕНО-ФОТОЭЛЕКТРОННОЙ СПЕКТРОСКОПИИ Аннотация: В качестве функционального диэлектрического слоя ячейки резистивной памяти ReRAMразработаны и выращены методом атомно-слоевого осаждения тонкие пленки трехкомпонентного оксида Hf xAl 1- xlO y с переменным (по глубине) содержанием Al. Выполнено неразрушающее профилирование оксидной пленки по глубине с использованием методики рентгено-фотоэлектронной спектроскопии с угловым разрешением. В структурах металл—диэлектрик—металл TiN/Hf xAl 1- xO y/Pt и Pt/Hf xAl 1- xO y/TiN исследован эффект резистивного переключения |
М 54 Метрологическое обеспечение измерений размерных параметров наночастиц и тонких пленок методами малоугловой рентгеновской дифрактометрии / А. С. Авилов [и др.]> // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 5-6. - С. 30-36 : рис., табл. - Библиогр.: с. 36 (6 назв.) . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОЧАСТИЦЫ -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- МЕТОДЫ МАЛОУГЛОВОЙ РЕНТГЕНОВСКОЙ ДИФРАКТОМЕТРИИ -- ДИФРАКТОМЕТР -- СЕТЬ НАНОТЕХНОЛОГИЧЕСКАЯ -- ПОЛУПРОВОДНИК Аннотация: Для обеспечения поверки и калибровки малоугловых рентгеновских дифрактометров, находящихся во многих организациях национальной нанотехнологической сети, разработаны новые, простые по исполнению технологические методы синтеза и изготовлены стандартные образцы (СО) на основе наночастиц металлического золота и полупроводниковой окиси цинка размером 2–10 нм. Получены также СО многослойных тонких пленок солей жирных кислот с периодом повторяемости 4.9 нм на твердых подложках. Развит комплекс методик расчета и перекрестной поверки размерных параметров методами дифракционной, высокоразрешающей просвечивающей и аналитической электронной микроскопии, электронографии, рентгенофазовым анализом и с использованием синхротронного излучения. Усовершенствованы методики и программы определения параметров дисперсности наночастиц по данным малоуглового рентгеновского рассеяния от неупорядоченных систем, основанные на устойчивых численных методах решения задачи поиска распределения по размерам. Разработаны программное обеспечение и методики калибровки угловой шкалы малоугловых дифрактометров как по данным рассеяния от стандартных образцов с наночастицами, так и по данным рефлектометрии от образцов многослойных пленок. Разработаны методики первичной обработки данных рентгеновского рассеяния, учитывающие особенности используемого оборудования с целью представления измерений и результатов в едином формате. Приведены примеры калибровки лабораторного малоуглового дифрактометра с помощью разработанных стандартов |