М 92 Мухуров, Н. И. Упругие элементы в микроэлектромеханических системах [Текст] / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 12-22 : рис. - Библиогр. : с. 21 (16 назв.)
Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (МЭМС) -- ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ КОНСТРУКТИВНАЯ СХЕМА -- РОТОРЫ ПОСТОЯННОГО И СТУПЕНЧАТОГО СЕЧЕНИЯ -- ОПОРЫ -- АКТИВНЫЕ СИЛЫ -- РЕАКТИВНЫЕ СИЛЫ -- УПРУГИЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ФОРМУЛЫ УПРГУГИХ ЛИНИЙ Аннотация: Рассмотрены МЭМС плоскопараллельной конструкции. Предложена методика расчета и анализа деформированного состояния роторов, содержащих упругие держатели и якоря, в МЭМС широкого функционального назначения. Рассчитаны и сопоставлены варианты роторов постоянного и ступенчатого исполнения с шарнирными и жесткими опорами. Представлены данные, позволяющие оперативно определить геометрические факторы, необходимые для разработки МЭМС с заданными параметрами. |