И 88 Исследование вакуумных автоэмиссионных микродиодов с изменяющимся зазором [Текст] / Ю. А. Григорьев [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 47-51 : рис. - Библиогр.: с. 51 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МНОГООСТРИЙНЫЙ МАТРИЧНЫЙ АВТОЭМИССИОННЫЙ КАТОД -- ФРАКТАЛЬНАЯ СТРУКТУРА -- МЕЖЭЛЕКТРОДНЫЙ ЗАЗОР -- СТЕКЛОУГЛЕРОД -- КОЭФФИЦИЕНТ УСИЛЕНИЯ ПОЛЯ -- ЭФФЕКТИВНАЯ ПЛОЩАДЬ ЭМИССИИ -- ПЛОТНОСТЬ ТОКА |
М 91 Мустафаев, Ар. Г. Влияние накопленной дозы излучения на КМОП-транзисторы, изготовленные по КНС-технологии [Текст] / Ар. Г. Мустафаев, Аб. Г. Мустафаев> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 44-46 : рис. - Библиогр.: с. 46 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КРЕМНИЙ НА САПФИРЕ -- ЭПИТАКСИЯ ИЗ ТВЕРДОЙ ФАЗЫ -- РАДИАЦИОННАЯ СТОЙКОСТЬ -- ПЛОТНОСТЬ ДЕФФЕКТОВ |
Э 45 Электромеханические преобразователи сенсорных микро- и наносистем: физические основы и масштабные эффекты. Часть 2. Детекторы, источники и характеристики шумов [Текст] / П. Г. Бабаевский [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 27-37 : рис. - Библиогр. : с. 37 (25 назв.)
Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): СЕНСОРНЫЕ МЭМС -- НЭМС -- ЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ -- ДЕТЕКТОРЫ -- ФИЗИЧЕСКИЕ ОСНОВЫ -- МАСШТАБНЫЕ ЭФФЕКТЫ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- РАЗРЕШАЮЩАЯ СПОСОБНОСТЬ -- ШУМЫ -- СПЕКТРАЛЬНАЯ ПЛОТНОСТЬ ФЛУКТУАЦИЙ Аннотация: Во второй части обзора, посвященной аналитическому описанию емкостных, пьезорезистивных, оптоэлектронных и туннельных детекторов электромеханических преобразователей сенсорных микро- и наносистем, показано, что наиболее перспективными при переходе от микро- к наносистемам являются туннельные детекторы. Однако, в них резко проявляются побочные физико-химические, в первую очередь адгезионные и капиллярные, эффекты и силы. При переходе к наномасштабу в основных элементах электрохимических преобразователей существенную роль начинают играть различные флуктуационные процессы, в частности, термомеханичекие, температурные и адсорбционно-десорбционные в чувствительных механических элементах и электрические - в туннельных детекторах. Эти процессы в решающей степени определяют характер и величину помех (шумов) , соответственно, чувствительность и разрешающую способность сенсорных наносистем. |
Л 83 Лугин, А. Н. Наноразмерные эффекты пространственной неоднородности распределения тока и мощности рассеяния в тонкопленочном контакте [Текст] / А. Н. Лугин> // 13-16Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 1 : рис. - Библиогр.: с. 15 -16 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РЕЗИСТОР -- ПЛОТНОСТЬ ТОКА |
З-13 Заводинский, В. Г. Квантово-механическое исследование упругих свойств наночастиц и процессов их агломерации [Текст] / В. Г. Заводинский> // Российские нанотехнологии. - 2008. - Т. 3, № 11-12. - С. 106-110 : рис. - Библиогр.: с. 110 (6 назв.) . - ISSN 1195-078 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕОРИЯ ФУНКЦИОНАЛА -- ЭЛЕКТРОННАЯ ПЛОТНОСТЬ |
М 61 Миниатюрные резервные средства автоматики на основе высокотемпературных гальванических элементов / В. В. Просянюк [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 5. - С. 29-31 : ил. - Библиогр. : с. 31 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ -- СРЕДСТВА АВТОМАТИКИ -- УДЕЛЬНАЯ ПЛОТНОСТЬ |
541.1 Г 12 Габуда, Святослав Петрович. Неподеленные электронные пары и химическая связь в молекулярных и ионных кристаллах. Мультиядерная ЯРМ-спектроскопия, магнетохимия, электронные корреляционные взаимодействия и релятивистские эффекты [] : монография / С. П. Габуда, С. Г. Козлова ; отв. ред. В. М. Бузник ; РАН, СО, Ин-т неорг. химии им. А. В. Николаева. - Новосибирск : Изд-во СО РАН, 2009. - 164 с. : граф., ил., табл. - Библиогр. в конце глав. - Предм. указ.: с. 158-159. - ISBN 978-5-7692-1080-8 : 350.00 р.
Рубрики: ХИМИЧЕСКИЕ НАУКИ--ФИЗИЧЕСКАЯ ХИМИЯ |
М 54 Метод исследования распределения по глубине лекарственных и диагностических субстанций в сферических аморфных наночастицах / В. К. Хлебников, Л. И. Богуславский [и др.]> // Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 9-10. - С. 137-141 : рис. - Библиогр. : с. 141 (15 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОЧАСТИЦЫ АМОРФНЫЕ СФЕРИЧЕСКИЕ -- МЕТОД ИССЛЕДОВАНИЯ РАСПРЕДЕЛЕНИЯ ЛЕКАРСТВЕННЫХ И ДИАГНОСТИЧЕСКИХ СУБСТАНЦИЙ -- ТРИТЕРПЕНОИДЫ БЕРЕСТЫ ЛУПАНОВЫЕ Аннотация: Mетод исследования распределения лекарственных и диагностических субстанций в наночастицах был разработан для сферических аморфных наночастиц (САНЧ), полученных из лупановых тритерпеноидов бересты. Метод основан на серии экстракций САНЧ в растворителе, что приводит к растворению тонких поверхностных слоев основного материала и материала субстанций, загруженных в САНЧ. Распределение трех субстанций в САНЧ анализировали, определяя оптическую плотность экстрактов, содержащих экстрагированный из САНЧ материал. Было показано, что распределение субстанций в САНЧ зависит от их растворимости в растворе, насыщенном основным материалом САНЧ, и от их массовой доли |
З-13 Заводинский, В. Г. Карбид вольфрама на субнаноуровне: атомная структура, электронные состояния, механические свойства / В. Г. Заводинский> // Российские нанотехнологии. - 2010. - Т. 5, № 11-12. - С. 120-124 : табл., рис. - Библиогр. : с. 124 (31 наим.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): КАРБИД ВОЛЬФРАМА -- СОСТОЯНИЯ ЭЛЕКТРОННЫЕ -- СТРУКТУРА АТОМНАЯ -- СВОЙСТВА МЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Методами теории функционала электронной плотности и псевдопотенциала изучены атомная структура, электронные состояния и механические свойства наночастиц WC размером 1 нанометр и менее. Обнаружено, что самые малые частицы (содержащие менее 15 атомных пар WC) обладают кубоподобной структурой типа NaCl. В области 10-20 пар WC-частицы с кубической и тригональной структурой имеют примерно равные энергии, однако их внутренняя атомная структура сохраняет свойственную для NaCl характер чередования атомов W и C. Тригональная частица WC15 была использована для изучения прочности на разрыв и сопротивления сжатию. Оказалось, прочность наночастицы намного превышает прочность массивного материала. Вакансии W и C снижают прочность частиц, однако атомы кобальта, внедряясь в вакансионные позиции, могут восстанавливать прочность наночастиц и их сопротивление сжатию почти до величин, характерных для бездефектного случая. Плотность электронных состояний наночастиц WC имеет вид, близкий к плотности состояний массивной кубической фазы карбида вольфрама, обладая металлическим характером с высокой плотностью вблизи уровня Ферми |
В 40 Взаимодействие наноструктур с силикатными композициями / Л. Ф. Ахметшина [и др.]> // Нанотехника. - 2010. - № 3 . - С. 13-16 : табл., рис. - Библиогр. : с. 16 (6 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОСТРУКТУРЫ УГЛЕРОДНЫЕ ЖЕЛЕЗОСОДЕРЖАЩИЕ -- СИЛИКАТЫ -- КОМПОЗИТЫ Аннотация: В настоящей работе представлены результаты исследования влияния металлсодержащих наноструктур на свойства силикатной композиции. Статья посвящена изучению изменения свойств и теплофизических характеристик, а также применению модифицированных силикатных составов в строительной отрасли. Установлено, что при введении определенных наноструктур повышается плотность и теплоемкость исследуемого вещества, а теплопроводность снижается |
О-75 Особенности уплотнения при прессовании нанопорошков гидроксиапатита / М. И. Алымов [и др.]> // Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 5-6. - С. 105-107 : рис. - Библиогр. : с. 107 (8 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОПОРОШКИ -- НАНОПОРОШКИ ГИДРОКСИАПАТИТА -- УПЛОТНЕНИЕ НАНОПОРОШКОВ -- ПРЕССОВАНИЕ Аннотация: Проведено исследование прессования и последующего спекания нанопорошков гидроксиапатита, полученных двумя методами: осаждением из водных растворов (I) и гетерофазным синтезом (II). Размер частиц порошков I и II не превышал 50 и 100 нм соответственно. В оптимальном режиме прессования относительная плотность заготовок достигает 60 %. Предварительное вакуумирование при прессовании порошков способствует формированию более однородной структуры керамики. Прочность керамики, полученной без вакуумирования при прессовании, составляет 25±1 МПа, с вакуумированием - 20±1 МПа; уменьшение связывается с большей открытой пористостью |
К 48 Клевлеев, В. М. Особенности уплотнения ультрадисперсных и нанодисперсных материалов / В. М. Клевлеев, И. А. Кузнецова, Н. С. Трутнев> // Нанотехника. - 2011. - № 1. - С. 17-18 : табл. - Библиогр. : с. 18 (3 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МАТЕРИАЛЫ НАНОДИСПЕРСНЫЕ -- ПОРОШКИ УЛЬТРАДИСПЕРСНЫЕ -- ПРЕССОВАНИЕ -- ПЛОТНОСТЬ Аннотация: В работе исследованы ультрадисперсные и наноразмерные порошки различных окислителей. Показаны свойства и поведение их при приложении нагрузок. Полученные результаты могут быть полезны для построения основ теории движения нового типа сплошной среды - нанодисперсных порошков |
О-75 Особенности одноосного квазистатического компактирования оксидных нанопорошков / Г. Ш. Болтачев [и др.]> // Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 9-10. - С. 125-130 : табл., рис. - Библиогр. : с. 130 (25 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОПОРОШКИ -- НАНОПОРОШКИ ОКСИДНЫЕ -- ОКСИД АЛЮМИНИЯ -- МЕТОД ГРАНУЛЯРНОЙ ДИНАМИКИ -- ПРОЦЕСС НАГРУЖЕНИЯ ПОРОШКОВОЙ ЗАГОТОВКИ -- ПРОЦЕСС КОМПАКТИРОВАНИЯ Аннотация: Экспериментально и теоретически изучаются процессы уплотнения нанопорошков на основе оксида алюминия. Исследуется размерный эффект в процессах компактирования: снижение уплотняемости порошка с уменьшением размера частиц. Изучаемые процессы моделируются в рамках метода гранулярной динамики. Показывается, что учет дисперсионных сил притяжения между частицами порошка позволяет достичь качественного согласия с экспериментальными данными. В рамках теоретической модели анализируется процесс многократного нагружения порошковой заготовки до заданного уровня по осевому давлению. Обнаружено, что в последнем случае удается существенно повысить конечную плотность компактов |
Г 55 Глухова , О. Е. Программный комплекс для наноэлектроники / О. Е. Глухова , Р. Ю. Жничков, М. М. Слепченков> // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 1. - С. 5-11 : рис. - Библиогр. : с. 11 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВЫЧИСЛЕНИЯ ПАРАЛЛЕЛЬНЫЕ -- ПЛОТНОСТЬ ЭЛЕКТРОННАЯ -- НАНОЛЕНТА -- МЕТОД СИЛЬНОЙ СВЯЗИ -- СПЕКТР ЭЛЕКТРОННЫЙ Аннотация: Разработан программно-вычислительный комплекс, теоретическую основу которого составляет квантово-химический метод сильной связи. С помощью данного комплекса рассчитан электронный спектр сжатых на различное число процентов графеновых нанолент. Установлено, что сжатые наноленты обладают улучшенными эмиссионными свойствами. С помощью разработанного комплекса можно исследовать атомное строение и свойства многоатомных наноструктур |
Г 55 Глухова , О. Е. Стабильность тонких углеродных бамбукоподобных нанотрубок / О. Е. Глухова , А. C. Колесникова> // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 2. - С. 2-6 : рис. - Библиогр. : с. 6 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СИНТЕЗ -- НАНОТРУБКИ БАМБУКОПОДОБНЫЕ -- НАПРЯЖЕНИЕ ЛОКАЛЬНОЕ -- ПЛОТНОСТЬ ЭНЕРГИИ ОБЪЕМНАЯ Аннотация: Теоретический поиск стабильных наноструктур осуществлялся с помощью определения расстояния между атомами после процесса оптимизации структуры методом сильной связи. Поиск стабильности бамбукоподобных нанотрубок проводился путем нахождения локального напряжения атомной сетки с помощью эмпирического метода. Карта напряжений рассчитывалась для бамбукоподобных нанотрубок различного диаметра. Показано, что бамбукоподобные нанотрубки диаметром 2,024 нм являются стабильными нанотрубками наименьшего диаметра и не разрушаются после процесса оптимизации. |
О-62 Определение геометрических параметров массива вертикально ориентированных углеродных нанотрубок методом атомно-силовой микроскопии / О. А. Агеев [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 3. - С. 9-13 : табл., рис. - Библиогр. : с. 13 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОДИАГНОСТИКА -- РЕЖИМЫ СКАНИРОВАНИЯ АСМ -- МИКРОСКОПИЯ РАСТРОВАЯ ЭЛЕКТРОННАЯ -- НАНОТРУБКИ УГЛЕРОДНЫЕ Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований геометрических параметров углеродных нанотрубок и плотности массива вертикально ориентированных углеродных нанотрубок (ВОУНТ) в контактном, полуконтактном и бесконтактном режимах атомно-силовой микроскопии (АСМ). Разработана экспресс-методика определения высоты массива ВОУНТ методом АСМ, с использованием которой определены значения максимальной и средней высоты нанотрубок в экспериментальном образце массива ВОУНТ, которые составили 1,98 мкм и 1,12 ± 0,45 мкм соответственно. В бесконтактном режиме АСМ определена плотность нанотрубок в экспериментальном образце массива ВОУНТ, равная 31 мкм-2. Полученные результаты могут быть использованы при разработке методов нанодиагностики, а также технологических процессов формирования элементов микро- и наноэлектроники на основе ВОУНТ |
О-29 Объемный композитный наноматериал на основе белка и углеродных нанотрубок / Л. П. Ичкитидзе [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 3. - С. 13-19 : рис. - Библиогр. : с. 19 (42 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОТРУБКИ УГЛЕРОДНЫЕ -- АЛЬБУМИН -- СУСПЕНЦИЯ -- ПРОЧНОСТЬ -- МАТЕРИАЛ НАНОКОМПОЗИЦИОННЫЙ БИОСОВМЕСТИМЫЙ Аннотация: Исследованы свойства биосовместимых композиционных наноматериалов (КНМ) на основе бычьего сывороточного альбумина (БСА) и многослойных углеродных нанотрубок (МУНТ), представляющих собой функционализированные (МУНТф) и нефункционализированные МУНТ. При изготовлении объемных КНМ из 25 мае % водных суспензий БСА с (0,0015-0,04) мае % МУНТф и МУНТ использовался метод лазерной нанотехнологии. Оптическая плотность и коэффициент поглощения ультрадисперсионных водных суспензий БСА + МУНТф были в 5-10 раз выше соответствующих параметров суспензий на основе БСА + МУНТ. Значение твердости Hv КНМ с МУНТф, было ~ 250 МПа, а в случае КНМ с МУНТ Hv = 300 МПа, что в 5-6 раз выше, чем у контрольных образцов из чистого БСА и композиционного материала БСА + сажа К-354 (Hv =45...50 МПа). Прочность на разрыв КНМ (о = 30 МПа) была на порядок ниже, чем их твердость. Максимальные значения удельной твердости Hv/р= 0,24 МПа/(кг/м3) и удельной прочности о/р= 0,024МПа/(кг/м3) для кНм практически совпадали с соответствующими значениями для человеческой пористой костной ткани |
С 86 Строение межфазной границы в полимерных нанокомпозитах, содержащих наночастицы с модифицированной поверхностью: атомистическое моделирование / П. В. Комаров [и др.]> // Российские нанотехнологии. - 2012. - № 3-4. - С. 97-104 : рис. - Библиогр. : с. 104 (56 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОКОМПОЗИТЫ -- НАНОКОМПОЗИТЫ ПОЛИМЕРНЫЕ -- НАНОЧАСТИЦЫ -- МОДЕЛИРОВАНИЕ АТОМИСТИЧЕСКОЕ -- ПОЛИАМИД -- МОЛЕКУЛЫ АЛКИЛСИЛАНИЛА Аннотация: Методом атомистической молекулярной динамики исследованы структурные свойства органо-неорганического нанокомпозита, состоящего из полиимида и наночастиц оксида кремния с модифицированной поверхностью. В качестве поверхностного модификатора были использованы молекулы алкилсиланила. Для простоты модель материала была построена в виде слоя полимерной матрицы, заключенной между двумя твердыми поверхностями. Поверхностная плотность и длина цепи молекул модификатора были главными параметрами расчетов. Полученные результаты показывают, что посредством варьирования молекулярного веса и поверхностной плотности модификатора можно изменять свойства интерфейса между матрицей и неорганическим наполнителем |
Г 75 Грабовский, Ю. П. Выбор условий и оборудования для регенерации магнитной жидкости / Ю. П. Грабовский, А. В. Лисин, М. Б. Евтушенко> // Нанотехника. - 2011. - № 4. - С. 85-88. - Библиогр.: с. 88 (9 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЖИДКОСТЬ МАГНИТНАЯ -- ПОЛЕ МАГНИТНОЕ -- КИСЛОТА ОЛЕИНОВАЯ -- ЧАСТИЦЫ -- ВЯЗКОСТЬ -- ПЛОТНОСТЬ -- УСТОЙЧИВОСТЬ В ГРАДИЕНТНОМ МАГНИТНОМ ПОЛЕ Аннотация: В статье рассмотрены различные процессы сепарации немагнитных материалов с использованием магнитных жидкостей, для которых возможность регенерации и повторного использования рабочей жидкости может существенно повлиять на их рентабельность. Проанализированы известные способы регенерации магнитных жидкостей, а проведенное экспериментальное исследование различных стадий процесса регенерации позволило заметно усовершенствовать этот процесс без использования дорогостоящего импортного оборудования |
М 80 Морфология карбида кремния, синтезированного из смеси нановолокнистого углерода и ксерогеля при лазерной абляции / Г. Г. Кувшинов, Ю. Л. Крутский, А. М. Оришич, И. С. Чуканов, А. С. Варфоломеева, Ю. В. Афонин, В. И. Зайковский, Д. Г. Кувшинов> // Российские нанотехнологии. - 2012. - Т. 7, № 7-8. - С. 68-72 : рис., табл. - Библиогр.: с. 72 (28 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): УГЛЕРОД НАНОВОЛОКНИСТЫЙ -- КСЕРОГЕЛЬ -- АБЛЯЦИЯ ЛАЗЕРНАЯ -- МОРФОЛОГИЯ КАРБИДА КРЕМНИЯ -- ТЕТРАЭТОКСИСИЛАН -- ЛУЧ ЛАЗЕРНЫЙ -- НАНОСТРУКТУРЫ -- НАНОСТЕРЖНИ Аннотация: B статье представлены результаты исследований продуктов, полученных на основе лазерной абляции композита, состоящего из гранулированного нановолокнистого углерода, пропитанного кремнийорганическим соединением - алкогелем на основе тетраэтоксисилана. В качестве источника излучения применялся непрерывный С0 2-лазер мощностью 0.6 кВт; плотность потока излучения составляла 3.4· 10 4 Вт/см 2, давление в реакторе - 770-780 торр., среда - гелий. Испаренный и собранный с поверхности конденсатора, а также взятый из мишени в месте воздействия лазерного луча материал изучался методом просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения на электронном микроскопе JEM-2010 с применением локального энерго-дисперсионного рентгеновского микроанализа на спектрометре EDAX. Установлено, что в испаренном и сконденсированном материале содержатся наноструктуры, представляющие собой наностержни диаметром ~20 нм, образованные поперечными слоями карбида кремния, покрытые слоем диоксида кремния. В материале мишени после воздействия лазерного луча обнаружены частицы карбида кремния с размером порядка 15 нм |