В 12 Вавилов, В. Д. Исследование стохастической погрешности микросистемного акселерометра [Текст] / В. Д. Вавилов, О. Н. Глазков // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 27-29. - Библиогр.: с. 29 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): БЕЛЫЙ ШУМ -- МЭМС -- НУЛЕВОЙ УРОВЕНЬ Аннотация: Целью данной работы является исследование влияния стохастического процесса, например "белого шума", на нулевой уровень и крутизну статической характеристики микросистемного акселерометра. Эти данные могут быть получены на начальном этапе проектирования до изготовления опытных образцов для экспериментальных исследований |
С 72 Спирин, В. Г. Анализ технологических погрешностей сопротивления тонкопленочного резистора / В. Г. Спирин // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 9. - С. 42-45 : рис. - Библиогр. : с. 45 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РЕЗИСТОР ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ -- СОПРОТИВЛЕНИЕ -- ПОГРЕШНОСТИ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ |
С 72 Спирин, В. Г. Математическая модель сопротивления тонкопленочного резистора / В. Г. Спирин // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 5. - С. 38-40 : табл., рис. - Библиогр. : с. 40 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РЕЗИСТОР ТОНКОПЛЕНОЧНЫЙ -- МОДЕЛЬ МАТЕМАТИЧЕСКАЯ -- СОПРОТИВЛЕНИЕ -- МИКРОСБОРКИ Аннотация: Разработана математическая модель сопротивления тонкопленочного резистора и его погрешности. Применение этой модели позволит проектировать тонкопленочные резисторы с топологическими размерами 10...50 мкм |
Д 72 Драгунов, В. П. Электростатические взаимодействия в мэмс с плоскопараллельными электродами. часть i. расчет емкостей / В. П. Драгунов, Д. И. Остертак // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 7 . - С. 37-41 : рис. - Библиогр. : с. 41 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- ЕМКОСТЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ -- КОНДЕНСАТОР ПЛОСКИЙ Аннотация: Сравниваются различные подходы к расчету зависимостей емкости плоского конденсатора, содержащего два одинаковых прямоугольных или круглых параллельных электрода, от межэлектродного зазора и взаимного смещения электродов. Рассчитываются погрешности в оценках емкости при использовании различных подходов. Приводится аналитическое выражение для расчета емкостей при изменении площади перекрытия электродов |
Д 72 Драгунов, В. П. Электростатические взаимодействия в мэмс с плоскопараллельными электродами. часть ii. расчет электростатических сил / В. П. Драгунов, Д. И. Остертак // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 40-47 : рис., табл. - Библиогр. : с. 47 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- ЕМКОСТЬ ЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ -- КОНДЕНСАТОР ПЛОСКИЙ -- ЭФФЕКТЫ КРАЕВЫЕ Аннотация: Проводится сравнение различных подходов к оценке компонент электростатических сил, действующих между электродами плоского конденсатора, содержащего два одинаковых прямоугольных или круглых электрода. Приводятся аналитические выражения для расчета компонент электростатических сил. Рассчитываются погрешности в оценках компонент электростатических сил, действующих на электроды конденсаторов при изменении межэлектродного зазора и площади перекрытия электродов |
Б 28 Батурин, А. С. Измерение емкости квазистатическим методом в атомно-силовом микроскопе / А. С. Батурин, А. А. Чуприк // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 2-7 : рис., табл. - Библиогр. : с. 7 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АСМ -- ЕМКОСТЬ -- ХАРАКТЕРИСТИКИ ВОЛЬТ-ФАРАДНЫЕ -- НАНОМЕТРОЛОГИЯ Аннотация: Рассмотрен квазистатический метод одновременного измерения вольт-амперных и вольт-фарадных характеристик с помощью атомно-силового микроскопа. Выполнен систематический анализ источников погрешности измерения емкости микроструктур. Показана возможность измерения емкости в диапазоне 10...500 пФ с погрешностью менее 3 % и с высоким пространственным разрешением |
П 77 Прищепов, С. К. Интегральные и гибридные технологии производства феррозондовых датчиков / С. К. Прищепов, К. И. Власкин // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 2-4 : рис. - Библиогр. : с. 4 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ ФЕРРОЗОНДОВЫЕ -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ МАГНИТНЫЕ -- ДИАГРАММА НАПРАВЛЕННОСТИ ДАТЧИКА Аннотация: Рассмотрены методы минимизации основной погрешности направленности дифференциальных феррозондов углового смещения физической оси чувствительности относительно геометрической. Определены принципы совмещения обмоток и магнитопроводов феррозондов для выполнения прецизионных чувствительных элементов модульного типа. Представлены особенности гибридных и интегральных технологий изготовления феррозондовых датчиков |
И 88 Исследование источников случайных погрешностей в измерительном сканирующем зондовом микроскопе «НаноСкан-3Di» / К. В. Гоголинский, К. Л. Губский, А. П. Кузнецов, В. Н. Решетов // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 5-6. - С. 56-59 : рис., табл. - Библиогр.: с. 59 (6 назв.) . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДИАПАЗОН НАНОМЕТРОВЫЙ -- МИКРОСКОП СКАНИРУЮЩИЙ ЗОНДОВЫЙ -- МИКРОСКОП «НАНОСКАН-3DI» -- ПОГРЕШНОСТИ -- ИНТЕРФЕРОМЕТР ТРЕХКООРДИНАТНЫЙ ГЕТЕРОДИННЫЙ ЛАЗЕРНЫЙ -- ВОСПРОИЗВОДИМОСТЬ Аннотация: Кратко описано устройство и принцип работы измерительного сканирующего зондового микроскопа «НаноСкан-3Di». Прибор создан путем сопряжения серийного СЗМ «НаноСкан-3D» и трехкоординатного гетеродинного лазерного интерферометра. Проведено исследование метрологических характеристик и основных источников случайных погрешностей данного измерительного комплекса. Экспериментальные исследования продемонстрировали высокую воспроизводимость и низкий уровень шумов при измерениях линейных размеров в нанометровом диапазоне |
П 53 Получение суспензий на основе нанопорошка оксида алюминия с узким распределением частиц по размерам / Е. Г. Калинина , А. А. Ефимов, А. П. Сафронов, В. В. Иванов , И. В. Бекетов // Российские нанотехнологии. - 2013. - Т. 8, № 7-8. - С. 78-83 : рис., табл. - Библиогр.: с. 83 (7 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОПОРОШКИ -- МЕТОД ДИНАМИЧЕСКОГО РАССЕЯНИЯ СВЕТА (ДРС) -- СУСПЕНЗИИ -- ОКСИДА АЛЮМИНИЯ -- ЧАСТИЦЫ -- МЕТОД ЭЛЕКТРИЧЕСКОГО ВЗРЫВА ПРОВОЛОКИ И ЛАЗЕРНОГО ИСПАРЕНИЯ И КОНДЕНСАЦИИ -- ЭЛЕКТРОННАЯ МИКРОСКОПИЯ -- ЧАСТИЦЫ НЕАГЛОМЕРИРОВАННЫЕ СФЕРИЧЕСКОЙ ФОРМЫ -- УСТРОЙСТВА ДИСПЕРГИРУЮЩИЕ -- ЦЕНТРИФУГИРОВАНИЕ СУСПЕНЗИИ -- РАЗМЕР -- ПЭМ Аннотация: Методом динамического рассеяния света (ДРС) исследованы закономерности получения дезагрегированных водных суспензий нанопорошков оксида алюминия Al2O3 с удельной поверхностью от 20 до 140 м2/г. Нанопорошки были получены методами электрического взрыва проволоки и лазерного испарения и конденсации и, по данным электронной микроскопии (ПЭМ), состояли из неагломерированных частиц сферической формы с логарифмически нормальным распределением по размерам. По данным ДРС, устойчивые водные суспензии наночастиц, стабилизированные цитратом натрия концентрацией 5 мМ, содержат значительную долю агрегатов. Была исследована динамика изменения среднего размера частиц при продолжительной ультразвуковой обработке суспензий концентрацией 10 г/лв течение 1.5–4 ч для двух типов диспергирующих устройств. Было показано, что средний размер агрегатов в суспензии экспоненциально уменьшается в 1.5–2 раза, а доля индивидуальных частиц существенно возрастает с 45 до 85 %. Последующее центрифугирование суспензии при 18000 g позволяет отделить неразрушенные агрегаты и получить суспензии индивидуальных частиц Al2O3, в которых распределения по размерам, полученные методами ПЭМ и ДРС, совпадают в пределах экспериментальной погрешности |