П 50 Полимерные нанокомпозиты с равномерным распределением наночастиц в полимерной матрице, синтезированные методом фронтальной полимеризации / С. П. Давтян [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, № 7-8. - С. 122-129 : рис., табл. - Библиогр. : с. 129 (35 назв.) . - ISSN 1195-078 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОЛИМЕРНАЯ МАТРИЦА -- ФРОНТАЛЬНАЯ ПОЛИМЕРИЗАЦИЯ |
Т 38 Технология плазменного наноразмерного травления металлов и полупроводников в бинарных хлорсодержащих газовых смесях / А. М. Ефремов, В. И. Светцов, С. А. Пивоваренок, А. В. Дунаев // Нанотехника. - 2010. - № 2 . - С. 77-81 : рис. - Библиогр. : с. 81 (3 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТРАВЛЕНИЯ МЕТАЛЛОВ И ПОЛУПРОВОДНИКОВ -- СМЕСИ ГАЗОВЫЕ ХЛОРСОДЕРЖАЩИЕ -- ПРОИЗВОДСТВО ИМС Аннотация: Неравновесная низкотемпературная газоразрядная плазма (ННГП) в среде хлорсодержащих газов применяется при проведении процессов «сухого» травления и очистки поверхности полупроводниковых пластин и функциональных слоев ИМС в тех случаях, когда использование жидкостных методов ограничивается высокими требованиями к чистоте, разрешению и воспроизводимости процесса [1, 2]. В качестве плазмообразующих сред традиционно использовались СС14, BCl3 и SiCl4, существенным недостатком которых является полимеризация и/или высаживание ненасыщенных продуктов плазмохимических реакций на внутренней поверхности реактора и обрабатываемого материала. Молекулярный хлор свободен от этих недостатков, однако его применение также осложнено рядом причин. Во-первых, это высокая коррозионная активность по отношению к конструкционным материалам технологического оборудования, неудобства хранения и транспортировки [1, 3]. Во-вторых, при характерных режимах работы промышленных плазмохимических реакторов ННГП в хлоре характеризуется высокими степенями диссоциации молекул CI2, что не позволяет достигать высокой анизотропии процесса. В то же время, последний параметр является актуальным при переходе к субмикронным технологиям в производстве ИМС |
Г 55 Глухова , О. Е. Полимеризация фуллеренов в углеродной нанотрубке в процессе ее изгиба / О. Е. Глухова , А. C. Колесникова // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 8. - С. 10-14 : рис. - Библиогр. : с. 14 (18 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОЛИМЕРИЗАЦИЯ -- НАНОТРУБКА -- ИЗГИБ -- НАНОТРУБКА УГЛЕРОДНАЯ Аннотация: Исследован процесс изгиба полой углеродной нанотрубки (10,10) и трубки, заполненной фуллеренами С60. Обнаружено, что полая нанотрубка не разрушается изгибе на 270°, а в трубке, заполненной фуллеренами, наблюдается полимеризация фуллеренов и химическое взаимодействие между фуллеренами и стенкой трубки. При этом внутренняя сторона нанотрубок трансформируется в волнообразную. Использованы два метода: эмпирический и квантово-механический. Применялся мультимасштабный подход: до процесса полимеризации моделирование осуществлялось эмпирическим методом, а сам процесс полимеризации моделировался с помощью квантово-химического метода сильной связи |
О-75 Особенности электрических свойств нанокомпозитов на основе полиэтилена и нанопластин графита, полученных методом полимеризации IN-SITU / И. А. Чмутин [и др.] // Нанотехника. - 2011. - № 3. - С. 33-38 : рис., табл. - Библиогр. : с. 38 (7 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОКОМПОЗИТЫ -- ПОЛИЭТИЛЕН -- НАНОПЛАСТИНЫ ГРАФИТА -- ЭЛЕКТРОПРОВОДНОСТЬ -- ПРОНИЦАЕМОСТЬ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКАЯ -- ПОЛИМЕРИЗАЦИЯ IN-SITU Аннотация: Исследованы электрические свойства нанокомпозиционных материалов на основе полиэтилена и нанопластин графита, полученных методом полимеризации IN SITU, в сравнении со свойствами композиционных материалов с другими углеродными наполнителями, как наноразмерными (углеродные нанотрубки, сажа), так и микронного размера (графит, шунгит). Нанокомпозиты на основе полиэтилена и нанопластин графита характеризуются низким порогом протекания 2,7% об., а также значительно более высокой диэлектрической проницаемостью по сравнению с композитами на основе других углеродных наполнителей. Обсуждаются возможные области применения исследованных нанокомпозитов |