П 84 Профилированный магниторезистивный микрочип биосенсорного устройства регистрации магнитных меток / В. В. Амеличев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - С. 52-54 : рис. - Библиогр. : с. 54 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): УСТРОЙСТВО БИОСЕНСОРНОЕ -- БИОМАТЕРИАЛ -- ТЕХНОЛОГИЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЙ -- МЕТКА МАГНИТНАЯ -- СТРУКТУРА ТОНКОПЛЕНОЧНАЯ Аннотация: Разработана конструкция профилированного магниторезистивного микрочипа биосенсорного устройства регистрации магнитных меток, представляющая собой массив чувствительных элементов, размещенных на кремниевом кристалле. Показан способ организации выборки массива, позволяющий минимизировать необходимое число выводов микрочипа. Разработана сложносовмещенная технология, обеспечивающая формирование на одном кристалле тонких мембран, полупроводниковых активных элементов и тонкопленочных магниторезистивных наноструктур |
И 73 Интегрированная наноэлектромеханическая система параметров движения / Е. В. Благов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 2. - С. 46-48 : рис. - Библиогр. : с. 48 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКА ТОНКАЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЙ -- ДИПОЛЬ МАГНИТНЫЙ МИНИАТЮРНЫЙ -- СИСТЕМА ИНТЕГРИРОВАННАЯ НАНОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКАЯ Аннотация: Представлены результаты исследования конструктивно-технологических узлов для реализации интегрированных наноэлектромеханических систем. Рассмотрены методы создания миниатюрного магнитного диполя на основе магнитожестких пленок Co80Ni20 и Fe19Ni81 Исследована зависимость чувствительности тонкопленочного магниторезистивного преобразователя от тока в управляющем проводнике |
Б 68 Благов, Е. В. Магниторезистивный преобразователь для датчиков тока / Е. В. Благов, В. В. Амеличев, Д. В. Костюк // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 4. - С. 22-25 : рис. - Библиогр.: с. 25 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИК ТОКА -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЙ -- ЭЛЕМЕНТ МАГНИТОРЕЗИСТИВНЫЙ Аннотация: Рассмотрены основные типы преобразователей магнитного поля, применяемые в современных датчиках тока. Представлены результаты измерения основных электрофизических характеристик магниторезистивного преобразователя с проводником управления. На основе результатов исследования макета магниторезистивного преобразователя для датчиков тока приведена оценка возможности измерения с его помощью токов силой до 60 А |