Г 69 Горнев, Е. С. Датчики становятся меньше, функциональнее и умнее... / Е. С. Горнев> // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 5. - С. 18-28 : ил. - Библиогр. : с. 28 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ -- МИКРОСИСТЕМНАЯ ТЕХНИКА -- ПРОГРАММА РАЗВИТИЯ |