С 56 Современные разработки МЭМС [] / К. Д. Яшин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 5. - С. 57-64 : рис. . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РАЗРАБОТКИ МЭМС -- ANALOG DEVICES -- ANSYS -- ГРУППА EVG -- INTELLIGENT MICRO PATTERING -- MEM RESEARCH -- MEMS ENGINEERING AND MATERIAL -- PLANAR -- VAISALA |