Р 24 Расчет и изготовление узкополосного СВЧ микроэлектромеханического переключателя для частотного диапазона 10...12 ГГц на подложках арсенида галлия / П. П. Мальцев, М. В. Майтама, А. Ю. Павлов, Н. В. Щаврук // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 6. - С. 30-33. - Библиогр.: с. 33 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (МЭМС) -- СВЧ ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЬ -- РАСЧЕТ МЭМС-ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЯ -- АРСЕНИД ГАЛЛИЯ Аннотация: Рассмотрены вопросы проектирования и изготовления дискретных электростатических СВЧ переключателей на основе микроэлектромеханических систем (МЭМС) на пластинах арсенида галлия и оценки возможности интегрирования их в общую схему с монолитными интегральными схемами (МИС) приемо-передающих устройств, изготовленных в едином производственном цикле |