A 31 ALD - оборудование и технологии компании BENEQ OY - от инновации к внедрению / Д. Кравченко [и др.] // Наноиндустрия. - 2009. - № 3. - 10-12. : ил. . - ISSN 1993-8578 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МОЛЕКУЛЯРНАЯ СБОРКА -- СВЕРХТОНКИЕ ПЛЕНКИ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА |