Б 73 Богданов, С. А. Моделирование газовой чувствительности кондуктометрических сенсоров на основе неоднородных полупроводников / С. А. Богданов // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 9. - С. 2-7 : рис. - Библиогр.: с. 7 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): полупроводники неоднородные -- полупроводники -- чувствительность газовая -- СЕНСОРЫ ГАЗА КОНДУКТОМЕТРИЧЕСКИЕ Аннотация: Разработана методика прогнозирования газовой чувствительности кондуктометрических сенсоров газов с чувствительным слоем на основе поликристаллического полупроводника, учитывающая размеры кристаллических зерен материала чувствительного слоя. Полученные результаты могут быть использованы для оптимизации технологических режимов формирования рассматриваемых сенсоров, а также для прогнозирования их газовой чувствительности |