М 74 Мокров , Е. А. Модель неинформативного преобразования термоэдс МЭМС-структур тонкопленочных тензорезисторных датчиков давления при воздействии нестационарных температур [Текст] / Е. А. Мокров , Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 61-65 : рис. - Библиогр.: с. 65 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕНЗОРИЗИСТОРНЫЕ ДАТЧИКИ -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТ -- МЭМС-СТРУКТУРА |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение стабильности тонкопленочных нано-и микроэлектромеханических систем датчиков давления для систем измерения, контроля и диагностики технически сложных объектов / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 4. - С. 21-26 : рис. - Библиогр. : с. 26 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДЕФОРМАЦИЯ -- ТЕМПЕРАТУРА -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- СИСТЕМЫ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ -- НИМЭМС Аннотация: Рассмотрено повышение стабильности тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления для систем измерения, контроля и диагностики технически сложных объектов |