Р 24 Расчет терморезистивного анемометрического преобразователя на мембране / А. А. Бобров, А. Ф. Попков [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 34-39 : рис. - Библиогр. : с. 39 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕХНИКА НАНО- И МИКРОСИСТЕМНАЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ РАСХОДА ГАЗА -- ТЕРМОРЕЗИСТОРЫ Аннотация: Дан теоретический анализ температурного режима работы в стационарном режиме терморезистивного анемометра на основе кремниевой мембраны в качестве сенсора, регистрирующего значение скорости и расхода газового потока. Описана конструкция разрабатываемого анемометрического преобразователя, его термодинамическая модель и обсуждается связь его конструктивных параметров с выходными характеристиками сенсора. Приведены результаты экспериментальной проверки обсуждаемой модели |
И 88 Исследование выходного отклика резистивного анемометрического преобразователя расхода газа мембранного типа в стационарном и импульсном режимах нагрева / А. А. Бобров, Н. А. Дюжев [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 9. - С. 23-27 : рис. - Библиогр. : с. 27 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ РАСХОДА ГАЗА -- МЕМБРАНА ТЕРМОКОМПЕНСИРОВАННАЯ -- ТЕРМОРЕЗИСТОРЫ Аннотация: Описаны конструкция и принцип работы разработанного терморезистивного анемометричного преобразователя для газовых сред мембранного типа. Приводятся результаты измерений выходного разностного сигнала преобразователя в стационарном и импульсном режимах. Приведены оценки динамического диапазона измерений преобразователя и оценка ресурса его работы в автономном режиме |
Т 35 Терморезисторные датчики измерения изменений уровня криогенных сред / И. И. Гончар, Л. Н. Киселев, А. Н. Михайлов, В. Г. Певгов, А. В. Семенов, В. А. Шубарев // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 8. - С. 41-45 : табл., рис. - Библиогр.: с. 45 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕРМОРЕЗИСТОРЫ -- СЕНСОРЫ -- УРОВНЕМЕРЫ -- ДАТЧИКИ УРОВНЯ -- ВРЕМЯ ЗАДЕРЖКИ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ Аннотация: Приведены результаты исследования изготовленных на тонких теплоизоляционных подложках по микроэлектронной технологии терморезисторных датчиков измерения уровня в криогенных средах |