А 53 Алфимов, С. М. О введении стандартов по микросистемной технике / С. М. Алфимов // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 11. - С. 50-52. - Библиогр. : с. 52 (2 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕХНИКА МИКРОСИСТЕМНАЯ -- ТЕРМИНЫ -- ОПРЕДЕЛЕНИЯ -- ПОНЯТИЯ -- МИКРОСИСТЕМА |
О-93 Оценка изгибной жесткости и деформации микроразмерных исполнительных элементов устройств микросистемной техники / В. А. Королева [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 39-42 : рис. - Библиогр. : с. 42 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕХНИКА МИКРОСИСТЕМНАЯ -- ЖЕСТКОСТЬ ИЗГИБНАЯ -- ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОРАЗМЕРНЫЕ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫЕ -- ДЕФОРМАЦИЯ Аннотация: Проведена экспериментальная оценка изгибной жесткости микроразмерных исполнительных элементов на основе монокристалaического кремния и структуры "ванадий-никель" путем сравнения зависимостей "нагрузка-деформация", измеренных на жестком конструкционном материале и подвижном исполнительном элементе из того же материала. Показано, что экспериментальные значения изгибных жесткостей исполнительных элементов близки к расчетным |
К 68 Королева, В. А. Оценка характеристик микроразмерных слоистых исполнительных элементов устройств микросистемной техники / В. А. Королева, Д. В. Болтунов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 4. - С. 42-45 : рис., табл. - Библиогр. : с. 45 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕХНИКА МИКРОСИСТЕМНАЯ -- ДЕФОРМАЦИЯ -- ЗАВИСИМОСТЬ "НАГРУЗКА-ДЕФОРМАЦИЯ" -- ЖЕСТКОСТЬ ИЗГИБНАЯ ИСПОЛНИТЕЛЬНОГО ЭЛЕМЕНТА Аннотация: Проведена расчетно-экспериментальная оценка характеристик подвижных исполнительных элементов электростатических актюаторов: деформации от нагрузки, с последующим расчетом их изгибной жесткости, модуля Юнга конструкционного материала, электрического напряжения срабатывания. Показано, что с увеличением толщины слоя никеля возрастают расчетно-экспериментальные значения изгибной жесткости конструкции. Установлено, что напряжение срабатывания уменьшается при уменьшении толщины слоя никеля. Измеренные значения превышают расчетные, что может быть связано с особенностями технологии изготовления |
Ш 95 Шубарев, В. А. Научно-техническая программа союзного государства "микросистемотехника" - основа создания нового поколения микросистемотехники и унифицированных интегрированных систем двойного назначения на ее основе / В. А. Шубарев, Н. П. Меткин, М. В. Весничева // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 7. - С. 2-6 : рис. - Библиогр.: с. 6 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕХНИКА МИКРОСИСТЕМНАЯ -- ИЗДЕЛИЯ МИКРОСИСТЕМНОЙ ТЕХНИКИ -- БАЗА РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ КОМПОНЕНТНАЯ -- ПРОГРАММА НАУЧНО-ТЕХНИЧЕСКАЯ СОЮЗНОГО ГОСУДАРСТВА Аннотация: Представлена научно-техническая программа Союзного государства России и Республики Беларусь "Микросистемотехника", ее актуальность, цели и задачи. Рассмотрены научно-технический, политический, социально-экономический и коммерческий аспекты реализации программы |
А 90 Аскерко, А. Н. Испытания и тестирование микроэлектромеханических компонентов и систем на их основе / А. Н. Аскерко, О. С. Бохов, В. В. Лучинин // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 49-54 : рис., табл. - Библиогр.: с. 54 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ИСПЫТАНИЯ МЭМС -- ТЕХНИКА МИКРОСИСТЕМНАЯ -- СИСТЕМЫ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- МСТ-КОМПОНЕНТЫ Аннотация: Рассмотрены современное состояние рынка микросистемной техники, особенности комплектования аппаратуры МСТ-компонентов, метрологическое обеспечение и стандартизация. Обобщены вопросы испытаний, определения характеристик надежности электронной компьютерной базы микросистемной техники |