С 51 Смолин, В. К. Тонкопленочные резистивные элементы первичных преобразователей датчиков / В. К. Смолин // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 9. - С. 16-23 : рис. - Библиогр. : с. 23 (53 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РЕГИСТОР -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- ТЕХНОЛОГИЯ ФОРМИРОВАНИЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ПЕРВИЧНЫЕ Аннотация: Дан обзор конструкторско-технологических особенностей выполнения элементов первичных преобразователей датчиков различного функционального назначения, использующих в качестве чувствительных элементов тонкопленочные резисторы |