М 59 Микроэлектромеханические коммутаторы для радиочастотных устройств / В. А. Власенко [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 10. - С. 30-34 : рис., табл. - Библиогр. : с. 34 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ЭЛЕКТРОТЕХНИКА Кл.слова (ненормированные): ФАЗОВРАЩАТЕЛИ -- ПЕРЕКЛЮЧАТЕЛЬ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЙ -- ПЛЕНКИ АЛМАЗОПОДОБНЫЕ -- ПЛЕНКИ УГЛЕРОДНЫЕ -- ТРАВЛЕНИЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ -- СИСТЕМА РАЗНОЧАСТОТНАЯ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКАЯ |
648.4 Г 16 Галперин, Вячеслав Александрович. Процессы плазменного травления в микро-и нанотехнологиях [] : учеб. пособие для вузов / В. А. Галперин, Е. В. Данилкин, А. И. Мочалов ; под ред. С. П. Тимошенкова. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2010. - 283 с. - (Нанотехнологии). - Библиогр.: с. 275-280. - ISBN 978-5-9963-0032-7 : 330.00 р.
Рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА--ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА--УЧЕБНИКИ ДЛЯ ВУЗОВ |
С 71 Спектральный контроль процесса травления арсенида галлия в хлороводороде / А. В. Дунаев, С. А. Пивоваренок, С. П. Капинос, А. М. Ефремов, В. И. Светцов // Нанотехника. - 2012. - № 1. - С. 93-95 : рис. - Библиогр.: с. 95 (5 назв.) . - ISSN 1816-4498
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТРАВЛЕНИЕ -- КОНТРОЛЬ -- СПЕКТР -- ХЛОРОВОДОРОД -- ТРАВЛЕНИЕ ПЛАЗМОХИМИЧЕСКОЕ -- АРСЕНИД ГАЛЛИЯ Аннотация: Было выполнено исследование спектров плазмохимического травления GaAs в HCl. На обзорных спектрах выбраны контрольные линии и полосы. На временных зависимостях интенсивности излучения продуктов травления (в частности, линии атомарного Ga) в начале процесса обработки наблюдается нестационарный участок продолжительностью около 1 мин. Соотношение интенсивности излучения продуктов и скорости травления носит прямопропорциональный характер. Это свидетельствует о возможности спектрального контроля процесса травления в реальном времени |