Т 34 Теплова , Т. Б. Физико-технологические принципы получения нанометрового рельефа поверхности при обработке твердых хрупких материалов электронной техники [Текст] / Т. Б. Теплова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 33-37 : рис. - Библиогр.: с. 37 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОМЕТРОВЫЙ РЕЛЬЕФ -- ТВЕРДЫЕ ХРУПКИЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПОВЕРХНОСТЬ -- ШЛИФОВАНИЕ |