К 59 Козлов, А. Г. Тепловые микросенсоры: конструктивные особенности [Текст] / А. Г. Козлов // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 1. - С. 16-28 : рис. - Библиогр.: с. 26-28 (80 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕПЛОВЫЕ МИКРОСЕНСОРЫ -- ТЕПЛОГЕНЕРИРУЮЩИЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ПЛЕНОЧНЫЕ ПРОВОДНИКИ |
Т 99 Тягунов , О. А. Программный комплекс для моделирования и исследования динамических характеристик микро-и наномеханических элементов и систем [Текст] / О. А. Тягунов // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 3. - С. 19-25 : рис. - Библиогр.: с. 25 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОМЕХАНИЧЕСКИЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА |
Н 65 Никулин, А. В. Анализ влияния геометрических размеров упругих элементов на собственные параметры микромеханических гироскопов LL-типа [Текст] / А. В. Никулин // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 4. - С. 34-39 : рис. - Библиогр.: с. 39 (2назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ГИРОСКОП -- УПРУГИЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ПАРАМЕТРЫ |
Э 45 Электромеханические преобразователи сенсорных микро-и наносистем : физические основы и масштабные эффекты. Часть 1. Чувствительные механические элементы и актюаторы [Текст] / П. Г. Бабаевский [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 11. - С. 32-44 : рис., табл. - Библиогр. : с. 42-44 (78 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НЭМС -- СЕНСОРНЫЕ МЭМС -- АКТЮАТОРЫ |
М 92 Мухуров, Н. И. Упругие элементы в микроэлектромеханических системах [Текст] / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 12-22 : рис. - Библиогр. : с. 21 (16 назв.)
Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (МЭМС) -- ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ КОНСТРУКТИВНАЯ СХЕМА -- РОТОРЫ ПОСТОЯННОГО И СТУПЕНЧАТОГО СЕЧЕНИЯ -- ОПОРЫ -- АКТИВНЫЕ СИЛЫ -- РЕАКТИВНЫЕ СИЛЫ -- УПРУГИЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ФОРМУЛЫ УПРГУГИХ ЛИНИЙ Аннотация: Рассмотрены МЭМС плоскопараллельной конструкции. Предложена методика расчета и анализа деформированного состояния роторов, содержащих упругие держатели и якоря, в МЭМС широкого функционального назначения. Рассчитаны и сопоставлены варианты роторов постоянного и ступенчатого исполнения с шарнирными и жесткими опорами. Представлены данные, позволяющие оперативно определить геометрические факторы, необходимые для разработки МЭМС с заданными параметрами. |
Р 17 Размерные эффекты в наноразмерных Pt3Co / C электрокатализаторах для низкотемпературных топливных элементов / И. Н. Леонтьев [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, № 3-4. - С. 76-81 : ил. - Библиогр. : с. 81 (14 назв.) Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТОПЛИВНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- БОРГИДРОЛЬНЫЙ СИНТЕЗ -- СИНТЕЗ -- ЭЛЕКТРОКАТАЛИЗАТОРЫ |
П 90 Пути повышения эффективности солнечных элементов с экстремально тонкими поглощающими слоями / С. А. Гаврилов [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, № 3-4. - С. 139-145 : ил. - Библиогр. : с. 145 (23 назв.) Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): СОЛНЕЧНЫЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ПЛЕНКИ TiO2 |
В 54 Витязь, П. А. Фуллеренсодержащие материалы и функциональные элементы на их основе / П. А. Витязь, Э. М. Шпилевкий, М. Э. Шпилевский // Нанотехнологии: наука и производство. - 2009. - № 2. - С. 12-16 : рис., табл. - Библиогр. : с. 15-16 (26 назв.) Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ФУЛЛЕРЕНСОДЕРЖАЩИЕ МАТЕРИАЛЫ -- ФУЛЛЕРИТЫ |
М 59 Микросенсор для контроля остаточного давления на основе периодического теплового режима / О. С. Бохов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 2. - С. 14-17 : рис. - Библиогр. : с. 17 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ , 20-21 вв. Кл.слова (ненормированные): МИКРОСЕНСОР -- ДАВЛЕНИЕ -- МЭМС Аннотация: Существующие чувствительные элементы для измеpения давления ниже атмосфеpного обладают узким диапазоном измеpения, высокой погpешностью и огpаниченным сpоком службы, что связано как с констpуктивными, так и с методическими особенностями датчиков. предложена методика, основанная на исследовании пеpиодического теплового pежима в pаботе теpмоpезистоpного сенсора, позволяющая повысить чувствительность и снизить погpешность, а также уменьшить инеpционность чувствительных элементов за счет измеpения вpеменных, а не амплитудных паpаметpов сигнала |
С 51 Смолин, В. К. Тонкопленочные резистивные элементы первичных преобразователей датчиков / В. К. Смолин // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 9. - С. 16-23 : рис. - Библиогр. : с. 23 (53 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РЕГИСТОР -- ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- ТЕХНОЛОГИЯ ФОРМИРОВАНИЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ПЕРВИЧНЫЕ Аннотация: Дан обзор конструкторско-технологических особенностей выполнения элементов первичных преобразователей датчиков различного функционального назначения, использующих в качестве чувствительных элементов тонкопленочные резисторы |
О-93 Оценка изгибной жесткости и деформации микроразмерных исполнительных элементов устройств микросистемной техники / В. А. Королева [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 39-42 : рис. - Библиогр. : с. 42 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕХНИКА МИКРОСИСТЕМНАЯ -- ЖЕСТКОСТЬ ИЗГИБНАЯ -- ЭЛЕМЕНТЫ МИКРОРАЗМЕРНЫЕ ИСПОЛНИТЕЛЬНЫЕ -- ДЕФОРМАЦИЯ Аннотация: Проведена экспериментальная оценка изгибной жесткости микроразмерных исполнительных элементов на основе монокристалaического кремния и структуры "ванадий-никель" путем сравнения зависимостей "нагрузка-деформация", измеренных на жестком конструкционном материале и подвижном исполнительном элементе из того же материала. Показано, что экспериментальные значения изгибных жесткостей исполнительных элементов близки к расчетным |
В 58 Влияние контаминации в РЭМ на профиль рельефных элементов нанометрового диапазона / В. П. Гавриленко [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 2. - С. 2-6 : рис. - Библиогр. : с. 6 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕМЕНТЫ РЕЛЬЕФНЫЕ -- ДИАПАЗОН НАНОМЕТРОВЫЙ -- МИКРОСКОП РАСТРОВЫЙ ЭЛЕКТРОННЫЙ -- КОНТАМИНАЦИЯ Аннотация: Представлены результаты исследований влияния контаминации в РЭМ S-4800 на профиль рельефных элементов меры нанометрового диапазона МШПС-2.0К. Показано, что в результате электронного облучения изменяется форма профиля рельефных элементов, представлены зависимости их параметров от дозы электронного облучения для разных режимов облучения |
С 38 Синтез электрокатализаторов для топливных элементов в среде сверхкритического диоксида углерода / Т. Е. Григорьев [и др.] // Российские нанотехнологии. - 2011. - Т. 6, № 5-6. - С. 69-78 : табл., рис. - Библиогр. : с. 78 (33 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): УГЛЕРОД -- СИНТЕЗ ЭЛЕКТРОКАТАЛИЗАТОРОВ -- ЭЛЕМЕНТЫ ТОПЛИВНЫЕ -- ДИОКСИД УГЛЕРОДА Аннотация: Mы использовали метод прямого осаждения металлоорганического прекурсора из раствора в сверхкритическом диоксиде углерода на поверхность дисперсной углеродной подложки с последующим восстановлением для получения ряда электрокаталитических материалов в форме частиц наноразмерной платины на дисперсном углеродном носителе (углеродная сажа Vulcan XC72r, ацетиленовая сажа, нанотрубки). Синтезированные материалы стабильно характеризовались монодисперсным распределением платиновых частиц по размерам со средним диаметром 2-3 нм, независимо от природы подложки, а также однородным распределением по поверхности носителя. Полученные электрокатализаторы были протестированы в составе работающего катодного электрода фосфорнокислотного топливного элемента с полибензимидазольной матрицей. При этом мембранно-электродный блок, собранный с таким катодом, показал вольтамперные характеристики, не уступающие реперным характеристикам, достигаемым с электродами производства компании BASF |
648.4 Ш 65 Шишкин, Геннадий Георгиевич. Наноэлектроника. Элементы. Приборы. Устройства [] : учеб. пособие для вузов / Г. Г. Шишкин, И. М. Агеев. - М. : БИНОМ. Лаборатория знаний, 2011. - 408 с. : ил. - (Нанотехнология). - Библиогр.: с. 404-406. - ISBN 978-5-9963-0638-1 : 345.00 р.
Рубрики: РАДИОЭЛЕКТРОНИКА--ОБЩАЯ РАДИОТЕХНИКА--УЧЕБНИКИ ДЛЯ ВУЗОВ |
И 88 Исследование электрофизических характеристик структур на основе топологических массивов углеродных нанотрубок / В. А. Галперин [и др.] // Нано- и микросистемная техника для лазерной индустрии . - 2011. - № 12. - С. 2-5 : рис. - Библиогр. : с. 5 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОТРУБКИ УГЛЕРОДНЫЕ -- МАССИВ УНТ -- ХАРАКТЕРИСТИКИ ЭЛЕКТРОФИЗИЧЕСКИЕ Аннотация: Резистивные элементы на основе углеродных нанотрубок (УНТ) могут выступать в качестве чувствительных элементов обширного спектра различных датчиков физических величин и химических сенсоров. Однако создание элементов на основе топологических массивов УНТ с воспроизводимыми геометрическими и электрофизическими параметрами остается сложной научнотехнической задачей. В работе рассматриваются результаты исследований в области синтеза топологических массивов УНТ с использованием технологии "совмещенного катализатора". Применение малых концентраций инжектируемого металл-органического соединения в растворе с углеводородами для процесса химического парофазного осаждения УНТ в сочетании с использованием сверхтонких пленок каталитических металлов позволяет минимизировать недостатки ранее разработанных методик синтеза УНТ. В настоящей работе в рамках развития данной методики изучается влияние размерных эффектов топологических элементов различной формы на электрофизические характеристики массивов УНТ |
И 88 Чуйко, О. В. Исследование кремниевых наноструктур в качестве рН-чувствительных элементов / О. В. Чуйко, А. Е. Кузнецов // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 40-42 : рис. - Библиогр. : с. 42 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОПРОВОЛОКИ КРЕМНИЕВЫЕ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНОСТЬ -- PH -- ISFET Аннотация: Исследованы pH-чувствительные элементы, выполненные на основе кремниевых наноструктур. Формирование наноструктур осуществлялось методом "top-down" ("сверху-вниз"). Нано-проволочные структуры характеризуются более высокой чувствительностью. Интегрированный элемент на основе двух нанопроволок p- и n-типов может быть использован в качестве датчика локального относительного изменения концентрации[Н+] |
М 91 Мустафаев, А. Г. Управление технологическим процессом формирования структур интегральных элементов / А. Г. Мустафаев, А. М. Савинова, П. М. Мирзаева // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 3. - С. 20-23 : рис. - Библиогр. : с. 23 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): УПРАВЛЕНИЕ ПРОЦЕССОМ -- ЭЛЕМЕНТЫ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ -- ПРОЦЕСС ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ -- МОДЕЛЬ ТЕХНОЛОГИЧЕСКОГО ПРОЦЕССА Аннотация: Современные технологические процессы формирования структур интегральных элементов обеспечиваются использованием низкотемпературных неравновесных импульсных и радиационно-стимулированных технологических операций. Решение задачи управления технологическими процессами основывается на понимании взаимосвязи между свойствами изделий, особенностями технологии их изготовления и характеристиками оборудования, с помощью которого реализуется эта технология. Разработанные подходы управления технологическими процессами позволяют исключить субъективный фактор и повысить эффективность систем управления. Показано, что основными технологическими операциями, существенно влияющими на выходные характеристики интегральных элементов при их производстве, являются ионная имплантация, отжиг, травление. Исследование и моделирование процессов на этих операциях позволяют выработать рекомендации по управлению и разработать алгоритмы эффективного управления технологическими процессами формирования структур интегральных элементов |
А 53 Алфимов, С. М. Микроробототехника специального назначения: состояние и тенденции развития / С. М. Алфимов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 3. - С. 49-54 : рис. - Библиогр. : с. 54 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОРОБОТ -- МИКРОСИСТЕМА -- ЭЛЕМЕНТЫ -- КОМПОНЕНТЫ -- АВТОНОМНОСТЬ -- УНИФИКАЦИЯ Аннотация: Анализируется состояние многокомпонентной микроробототехники и тенденции ее развития. Обосновывается состав функциональных задач, решаемых микророботами, и структура унифицированной бортовой системы управления |
Р 34 Резервная бесплатформенная система ориентации на отечественной измерительной базе / В. Я. Распопов , Ю. В. Иванов, П. П. Парамонов, Ю. И. Сабо, В. В. Матвеев, А. П. Шведов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 11. - С. 43-45 : рис., табл. - Библиогр.: с. . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВАРИАЦИИ АЛЛАНА -- ЭЛЕМЕНТЫ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЕ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ГИРОВЕРТИКАЛЬ Аннотация: Рассматривается резервная бесплатформенная система ориентации, построенная на отечественной элементной базе: микромеханических гироскопах ММГ-ЭПТРОН (ОАО "Концерн "ЦНИИ "Электроприбор") и компенсационных акселерометрах АТ1104 (ОАО АНПП "Темп-Авиа"). Предлагается конструкция измерительного модуля резервной системы ориентации, который может применяться на беспилотных летательных аппаратах и как дублирующая система для пилотируемых летательных аппаратов |
С 38 Синтез и люминесцентные характеристики субмикронных порошков на основе фторидов натрия и иттрия, легированных редкоземельными элементами / С. В. Кузнецов, А. В. Рябова, Д. С. Лось, П. П. Федоров , В. В. Воронов, Р. П. Ермаков, В. Б. Лощенов, В. В. Волков, А. Е. Баранчиков, В. В. Осико // Российские нанотехнологии. - 2012. - Т. 7, № 11-12. - С. 99-107 : рис., табл. - Библиогр.: с. 107 (93 назв.) . - ISSN 1992-7223
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОРОШКИ СУБМИКРОННЫЕ -- ЭЛЕМЕНТЫ РЕДКОЗЕМЕЛЬНЫЕ -- СИНТЕЗ -- ХАРАКТЕРИСТИКИ ЛЮМИНЕСЦЕНТНЫЕ -- МЕТОД ОСАЖДЕНИЯ ИЗ ВОДНЫХ РАСТВОРОВ -- ПОРОШКИ ТВЕРДЫХ РАСТВОРОВ -- ФТОРИД НАТРИЯ -- ФАЗЫ КУБИЧЕСКАЯ и ГЕКСАГОНАЛЬНАЯ Аннотация: Методом осаждения из водных растворов при комнатной температуре были синтезированы субмикронные порошки твердых растворов на основе кубической и гексагональной фаз, существующих в системе NaF-YF 3. Определены условия получения однофазных образцов, для которых исследованы спектры ап-конверсионной люминесценции. Определен перспективный состав (Na 0.414Ca 0.183Y 0.215Yb 0.094Er 0.094F 1.989), квантовый выход ап-конверсионной люминесценции которого составил 1.9 % при мощности накачки 3 Вт на длине волны 974 нм |