Т 38 Технологический маршрут изготовления наноразмерных ячеек энергонезависимой памяти на фазовых переходах с применением двухлучевой установки novananolab 600 / Ю. В. Ануфриев, Е. В. Зенова, П. К. Кондратьев, Д. А. Рачников // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 26-28 : рис. - Библиогр. : с. 28 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПАМЯТЬ ЭНЕРГОНЕЗАВИСИМАЯ -- УСТАНОВКА ДВУХЛУЧЕВАЯ NOVANANOLAB 600 -- ЯЧЕЙКИ НАНОРАЗМЕРНЫЕ Аннотация: Рассматривается один из возможных способов создания прототипа матрицы ячеек энергонезависимой памяти с использованием Dual-beam-технологии. Предложенная технология в будущем позволит изготавливать матрицы энергонезависимой памяти на фазовых переходах, внедренных в структуру СБИС |