С 56 Современные разработки МЭМС [] / К. Д. Яшин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 5. - С. 57-64 : рис. . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РАЗРАБОТКИ МЭМС -- ANALOG DEVICES -- ANSYS -- ГРУППА EVG -- INTELLIGENT MICRO PATTERING -- MEM RESEARCH -- MEMS ENGINEERING AND MATERIAL -- PLANAR -- VAISALA |
Т 33 Тензорезистивный кремниевый МЭМС-преобразователь давления мембранного типа / В. С. Суханов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 12. - С. 36-37 : рис., табл. - Библиогр. : с. 37 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ДАВЛЕНИЯ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- ТИП МЕМБРАННЫЙ Аннотация: Описана конструкция кремниевого интегрального преобразователя давления мембранного типа с тремя жесткими центрами, изготовленного по групповой интегральной технологии размером 6,2 x 6,2 мм. Проведено моделирование чувствительного элемента (ЧЭ) давления с помощью ПО ANSYS методом конечных элементов. Представлена трехмерная модель чувствительного элемента давления с иллюстрацией механических напряжений и деформации мембраны чувствительного элемента. ЧЭ реализован в макетном образце первичного преобразователя давления, представлены характеристики макетного образца |
П 76 Применение атомной силовой микроскопии в исследованиях взаимодействия липопротеидов с интимой артерий / О. Е. Глухова , И. В. Кириллова, Г. Н. Маслякова, Е. Л. Коссович, Д. А. Заярский, А. А. Фадеев // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 9. - С. 34-39 : рис. - Библиогр.: с. 39 (23 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЭНДОТЕЛЕЙ -- ДЕФОРМАЦИЯ -- НАПРЯЖЕНИЕ НОРМАЛЬНОЕ -- НАПРЯЖЕНИЕ КАСАТЕЛЬНОЕ -- МОДЕЛИРОВАНИЕ КОНЕЧНО-ЭЛЕМЕНТНОЕ -- ЛИПОПРОТЕИД -- МИКРОСКОПИЯ АТОМНО-СИЛОВАЯ -- ИНТИМА АРТЕРИЙ Аннотация: Разработана оригинальная методика сканирования морфологии интимы артерий с помощью атомной силовой микроскопии с применением зондовой нанолаборатории NTEGRASpectra (НТ-МДТ, Россия). Получены картины топологии интимы коронарной артерии с разрешением 1 нм. Построена 3D-модель комплекса "поверхность эндотелиальной клетки - ЛНП" и с помощью пакета ANSYS рассчитана деформация липопротеидов низкой плотности (ЛНП), а также карта напряжений при соударении макромолекулы с поверхностью эндотелия. В месте взаимодействия ЛНП с поверхностью наблюдаются наибольшие нормальные и касательные напряжения, равные 2,173 и 0,053 кПа соответственно. Показано, что структура ЛНП испытывает сильные деформации, которые приводят к сжатию молекулы с одновременным замятием. Таким образом, при попадании ЛНП в щель между клетками макромолекула будет испытывать всесторонние деформации и значительную модификацию молекулярной структуры |
О-62 Оптимизация конструкции чувствительного элемента давления с распределенным жестким центром с помощью компьютерного трехмерного моделирования / А. И. Артемова, Ю. А. Михайлов, В. В. Панков, В. С. Суханов // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 7. - С. 34-37 : граф. - Библиогр.: с. 37 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ -- ЧУВСТВИТЕЛЬНЫЙ ЭЛЕМЕНТ (ЧЭ) -- ТЕНЗОРЕЗИСТОРЫ -- ЖЕСТКИЙ ЦЕНТР -- КОНЕЧНО-ЭЛЕМЕНТНЫЙ АНАЛИЗ Аннотация: Представлен метод оптимизации конструкции кремниевого чувствительного элемента (ЧЭ) давления с распределенным жестким центром. С помощью компьютерного трехмерного моделирования были созданы несколько конструкций ЧЭ с различными вариантами исполнения жесткого центра. С помощью программного комплекса ANSYS было проведено моделирование конструкций ЧЭ при разных приложенных давлениях методом конечных элементов. Полученные выходные значения чувствительности и нелинейности характеристики позволяют сравнить конструкции ЧЭ и выбрать наиболее оптимальный вариант исполнения изделия |