С 56 Современные разработки МЭМС [] / К. Д. Яшин [и др.]> // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 5. - С. 57-64 : рис. . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): РАЗРАБОТКИ МЭМС -- ANALOG DEVICES -- ANSYS -- ГРУППА EVG -- INTELLIGENT MICRO PATTERING -- MEM RESEARCH -- MEMS ENGINEERING AND MATERIAL -- PLANAR -- VAISALA |
623 J 51 Jha, A. R. MEMS and Nanotechnology-Based Sensors and Devices for Communications, Medical and Aerospace Applications [Text] : монография / A. R. Jha. - Boca Raton [et al.] : CRC Press, 2008. - XXVII, 401 p. : рис., ил. - Библиогр. в конце глав. - Указ.: с. 385-401. - ISBN 978-0-8493-8069-3 : 4232.00 р.
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ--СЫРЬЕ--МАТЕРИАЛОВЕДЕНИЕ |
К 95 Кухаренко, Б. Г. Дистанционный манипулятор на основе MEMS-акселерометра в качестве чувствительного элемента / Б. Г. Кухаренко, Д. И. Пономарев> // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 2. - С. 49-54 : рис. - Библиогр. : с. 54 (11 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ШУМ -- ФИЛЬТРАЦИЯ -- СИГНАЛ УПРАВЛЯЮЩИЙ -- ПРИМЕНЕНИЕ МНСТ -- МАНИПУЛЯТОР ДИСТАНЦИОННЫЙ -- MEMS-АКСЕЛЕРОМЕТР Аннотация: Рассматривается дистанционный манипулятор на основе MEMS-акселерометра, заменяющий компьютерную мышь. Особенности блок-схемы дистанционного манипулятора, функциональной схемы и схемы подключения MEMS-акселерометра влияют на уровень аддитивного шума. Анализ микроструктуры MEMS-акселерометра определяет рабочий режим манипулятора. Особенности использования оператором этого манипулятора влияют на уровень и характеристики шума в его управляющем сигнале. Программные средства отслеживают движения (жесты) пользователя манипулятора |
Д 20 Датчик постоянного магнитного поля на основе пьезоэлектрического преобразователя и многовиткового контура с током / А. Г. Итальянцев, Ю. В. Шульга, Ю. К. Фетисов, Д. В. Чашин> // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 6. - С. 41-45 : рис. - Библиогр.: с. 45 (3 назв.) . -
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЦТС-КЕРАМИКА -- СИЛА АМПЕРА -- СТРУКТУРА БИМОРФНАЯ -- ЭЛЕМЕНТ ПЬЕЗОЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ -- ДАТЧИК МАГНИТНОГО ПОЛЯ -- КОНТУР МНОГОВИТКОВЫЙ Аннотация: Описана новая конструкция магниточувствительной MEMS, принцип действия которой основан на комбинации прямого пьезоэлектрического эффекта и силы Ампера. Теоретически и экспериментально обоснованы физические и конструкционные принципы увеличения чувствительности таких структур к постоянным магнитным полям. Выведено каноническое выражение для чувствительности первичных преобразователей на основе изгибного пьезоэлемента и многовиткового контура с током на резонансной частоте преобразователя. Экспериментально показано, что чувствительность предлагаемых MEMS многократно превышает чувствительность ближайших аналогов и достигает 104 В/(Тл-А) |
Ч-40 Челпанов, И. Б. Многоцелевые алгоритмы оценки составляющих сигналов микромеханических датчиков угловой скорости и акселерометров / И. Б. Челпанов, А. В. Кочетков> // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 6. - С. 2-7 : рис. - Библиогр.: с. 7 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): АКСЕЛЕРОМЕТРЫ -- ДАТЧИКИ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ УГЛОВОЙ СКОРОСТИ -- MEMS -- ММГ -- ГИРОСКОПЫ МИКРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- СРЕДСТВА ИЗМЕРЕНИЯ Аннотация: Рассматриваются вопросы планирования, организации и проведения испытаний микромеханических датчиков и приборов (MEMS), в первую очередь микромеханических гироскопов (ММГ), входящих в состав навигационных систем и комплексов подвижных объектов. Такие датчики именуются по принципу действия микромеханическими, микроэлектронно-механическими или микроэлектромеханическими |