Б 12 Бабуров, В. А. Исследование и разработка прецизионных конденсаторов, работающих в сантиметровом и миллиметровом диапазонах длин волн / В. А. Бабуров, А. Ю. Павлов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 10. - С. 36-39 : рис., табл. - Библиогр.: с. 39 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МОДЕЛИРОВАНИЕ -- НИТРИД КРЕМНИЯ -- КОНДЕНСАТОРЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ -- S-ПАРАМЕТРЫ Аннотация: Представлены результаты разработки и измерений S-параметров тонкопленочных конденсаторов. Конденсаторы формируются на подложках из арсенида галлия. На основе полученных данных удалось с помощью специального программного обеспечения смоделировать конденсаторы различной топологии, работающие на частотах до 40 ГГц |