М 59 Микросенсор для контроля остаточного давления на основе периодического теплового режима / О. С. Бохов [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 2. - С. 14-17 : рис. - Библиогр. : с. 17 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ , 20-21 вв. Кл.слова (ненормированные): МИКРОСЕНСОР -- ДАВЛЕНИЕ -- МЭМС Аннотация: Существующие чувствительные элементы для измеpения давления ниже атмосфеpного обладают узким диапазоном измеpения, высокой погpешностью и огpаниченным сpоком службы, что связано как с констpуктивными, так и с методическими особенностями датчиков. предложена методика, основанная на исследовании пеpиодического теплового pежима в pаботе теpмоpезистоpного сенсора, позволяющая повысить чувствительность и снизить погpешность, а также уменьшить инеpционность чувствительных элементов за счет измеpения вpеменных, а не амплитудных паpаметpов сигнала |
Б 86 Бохов, О. С. Миниатюрные навигационно-ориентационные интегрированные модули на основе микроэлектромеханических систем / О. С. Бохов, А. М. Спивак, Ю. А. Орехов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 55-60 : табл., рис. . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- НАВИГАЦИЯ -- ГИРОСКОП -- АКСЕЛЕРОМЕТР Аннотация: Рассмотрено применение микроэлектромеханических систем для создания миниатюрных навигационно-ориентационных интегрированных модулей в целях улучшения массогабаритных параметров и энергопотребления, при этом рассмотренный интегральный подход дает возможность обеспечить характеристики устройств, в ряде задач сопоставимые с системами на лазерных гироскопах, и дополнительные преимущества, такие как время холодного старта, устойчивость к перегрузкам, повышенная живучесть |
Н 61 Низкопотребляющие малогабаритные радиотехнические модули на основе микроэлектромеханических ключей / О. С. Бохов, М. П. Духновский, А. Б. Козырев, А. В. Корляков, А. Н. Королев, А. В. Лагош, В. В. Лучинин, С. И. Топталов // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 60-71 : рис., табл. - Библиогр.: с. 71 (4 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ФАЗОВРАЩАТЕЛИ -- МАТЕРИАЛЫ АЛМАЗОПОДОБНЫЕ -- РЕШЕТКИ АНТЕННЫЕ ФАЗИРОВАННЫЕ -- КЛЮЧИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Рaссмomрены особенности построения микроэлектромеханических (МЭМ) ключей различного принципа действия. Рaссмomрены особенности СВЧМЭМ ключей с использованием алмазоподобных материалов. Приведены разработанные модели ключей и проведен комплексный анализ их характеристик. Рассмотрены конструкции и технологии для производства МЭМ ключей. Представлены фазовращатели, созданные на базе МЭМ ключей для фазированных антенных решеток, и фазированные антенные решетки для различных частотных диапазонов на МЭМ ключах |
Э 41 Экспресс-прототипирование микроустройства с радиоканалом / П. В. Афанасьев, Н. И. Бороденков, О. С. Бохов, В. В. Лучинин, Е. М. Устинов, Р. В. Юдин // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 12. - С. 71-74 : рис. . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОНИКА ГИБКАЯ -- СБИС -- МИКРОСБОРКА -- ИНТЕГРАЦИЯ Аннотация: Целью данной работы является иллюстрация возможности быстрого прототипирования сложного интегрированного изделия микротехники, включающего сенсорный и исполнительный, микропроцессорный модули, блок энергообеспечения и радиоканал. Базовыми критериями эффективности выполненной разработки являлись, наряду с заданными функциональными характеристикам, такие параметры, как массогабаритные параметры и время реализации разработки |
А 90 Аскерко, А. Н. Испытания и тестирование микроэлектромеханических компонентов и систем на их основе / А. Н. Аскерко, О. С. Бохов, В. В. Лучинин // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 2. - С. 49-54 : рис., табл. - Библиогр.: с. 54 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ИСПЫТАНИЯ МЭМС -- ТЕХНИКА МИКРОСИСТЕМНАЯ -- СИСТЕМЫ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- МСТ-КОМПОНЕНТЫ Аннотация: Рассмотрены современное состояние рынка микросистемной техники, особенности комплектования аппаратуры МСТ-компонентов, метрологическое обеспечение и стандартизация. Обобщены вопросы испытаний, определения характеристик надежности электронной компьютерной базы микросистемной техники |