Б 95 Быков , В. А. Учебно-исследовательская мини-лаборатория по нанотехнологии на базе сканирующего зондового микроскопа "НАНОЭДЬЮКАТОР" / В. А. Быков , В. Н. Васильев , А. О. Голубок // Российские нанотехнологии. - 2009. - Т. 4, № 5-6. - С. 51-58. - Библиогр. : с. 58 (21 назв.) . - ISSN 1195-078 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): НАНОТЕХНОЛОГИИ (ИССЛЕДОВАНИЯ) -- ЗОНДОВЫЙ МИКРОСКОП -- ПЬЕЗОСКАНЕР |
М 74 Модификация зондовых датчиков-кантилеверов для атомно-силовой микроскопии методом фокусированных ионных пучков / С. М. Аракелян [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 4-8 : рис. - Библиогр. : с. 8 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСКОПИЯ АТОМНО-СИЛОВАЯ -- МЕТОД ФОКУСИРОВАННЫХ ИОННЫХ ПУЧКОВ -- ДАТЧИКИ-КАНТИЛЕВЕРЫ ЗОНДОВЫЕ -- СОПРОТИВЛЕНИЕ РАСТЕКАНИЯ Аннотация: Представлены результаты экспериментальных исследований по модификации зондовых датчиков-кантилеверов для атомно-силовой микроскопии (АСМ) путем осаждения на поверхность балки кантилевера вольфрамового острия методом фокусированных ионных пучков (ФИП) с применением высокоселективной газовой химии. Показано, что полученные методом ФИП зонды длиной 5 мкм и радиусом закругления порядка 50 нм позволяют повысить точность измерений тестовых объектов. Полученные результаты могут быть использованы при разработке технологических процессов изготовления и модификации зондовых датчиков-кантилеверов АСМ, а также при исследовании структур микро-и наносистемной техники |
И 88 Использование методов фрактальной геометрии для анализа морфологических свойств и управления качеством получаемого информационного массива по результатам измерений наноразмерных объектов с использованием атомно-силового микроскопа / С. М. Аракелян [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 4. - С. 8-13 : рис. - Библиогр. : с. 13 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОСКОПИЯ АТОМНО-СИЛОВАЯ -- РАЗМЕРНОСТЬ ФРАКТАЛЬНАЯ -- МЕТОД ФРАКТАЛЬНОЙ ГЕОМЕТРИИ -- АСМ-ИЗМЕРЕНИЯ Аннотация: Методы атомно-силовой микроскопии (АСМ) получают все большее распространение в задачах исследования нанообъектов и наноструктур. Используемые подходы позволяют получать с высоким разрешением карту свойств поверхности. Для многих измерений принципиален вопрос об избыточности проводимых измерений и возможности управлением качеством получаемой информации. На основе методов фрактальной геометрии на примере одномерных зависимостей предложены методы управления качеством и точностью получаемого информационного массива на основе АСМ-измерений |