Б 43 Белозубов, Е. М. Тонкопленочные микроэлектромеханические системы и датчики на их основе [Текст] / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев // Нано- и микросистемная техника . - 2009. - № 2. - С. 33-39 : рис. - Библиогр. : с. 38 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (ТМЭМС) -- ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ МЭМС (ТТМЭМС) -- ТОНКОПЛЕНОЧЕНЫЕ ЕМКОСТНЫЕ МЭМС (ТЕМЭМС) -- ОБОБЩЕННАЯ СИСТЕМНАЯ МОДЕЛЬ |
В 19 Васильев , В. А. Датчики давления с частотным выходом на основе нано- и микроэлектромеханических систем, устойчивые к воздействию температур / В. А. Васильев , Н. В. Громков // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 19-24 : рис. - Библиогр. : с. 24 (8 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ТЕМПЕРАТУРА -- ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- СИСТЕМЫ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛИ ЧАСТОТНЫЕ Аннотация: Поступила в редакцию 12.05.2011 Рассмотрены датчики давления с частотным выходным сигналом на основе тонкопленочных тензорезисторных нано- и микроэлектромеханических систем, устойчивые к воздействию температур. Представлены оригинальные топологии расположения тензоэлементов на мембране чувствительного элемента датчика и схемы частотных преобразователей |
Б 43 Белозубов, Е. М. Совершенствование тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем с идентичными тензоэлементами и датчиков давления на их основе / Е. М. Белозубов, В. А. Васильев , Н. В. Громков // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 10. - С. 27-33 : рис. - Библиогр. : с. 33 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ ДАВЛЕНИЯ -- НИМЭМС -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТЫ ИДЕНТИЧНЫЕ -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ ТЕНЗОРЕЗИСТОРНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Рассмотрены возможности улучшения характеристик тонкопленочных тензорезисторных нано- и микроэлектромеханических систем с идентичными тензоэлементами и датчиков на их основе в условиях воздействия нестационарных температур |
В 19 Васильев , В. А. Диффузионная модель роста и морфология поверхностей тонких пленок материалов / В. А. Васильев , П. С. Чернов // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 11. - С. 11-16 : рис. - Библиогр. : с. 16 (15 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПЛЕНКИ ТОНКИЕ -- МОРФОЛОГИЯ ПОВЕРХНОСТЕЙ -- АВТОМАТ КЛЕТОЧНЫЙ СТОХАСТИЧЕСКИЙ Аннотация: Дан обзор моделей роста поверхностей материалов. Предложена оригинальная модель роста поверхности тонких пленок, представляющая собой стохастический клеточный автомат и учитывающая диффузию частиц. Она позволяет исследовать влияние температуры подложки, скорости и времени осаждения на параметры, характеризующие морфологию поверхности. Представлены результаты сравнения экспериментальных данных, полученных с помощью атомно-силовой микроскопии, и теоретических, полученных путем моделирования с использованием предложенной диффузионной модели |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение виброустойчивости тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем и датчиков давления на их основе / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 1. - С. 42-46 : рис. - Библиогр. : с.46 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВИБРАЦИЯ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- ТЕМПЕРАТУРА -- СИСТЕМЫ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ Аннотация: Рассмотрены вопросы повышения виброустойчивости тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем и датчиков давления на их основе |
Б 43 Белозубов, Е. М. Повышение стабильности тонкопленочных нано-и микроэлектромеханических систем датчиков давления для систем измерения, контроля и диагностики технически сложных объектов / Е. М. Белозубов, Н. Е. Белозубова, В. А. Васильев // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 4. - С. 21-26 : рис. - Библиогр. : с. 26 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДЕФОРМАЦИЯ -- ТЕМПЕРАТУРА -- ТЕНЗОЭЛЕМЕНТ -- ДАТЧИК ДАВЛЕНИЯ -- СИСТЕМЫ НАНО- И МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ ТОНКОПЛЕНОЧНЫЕ -- НИМЭМС Аннотация: Рассмотрено повышение стабильности тонкопленочных нано- и микроэлектромеханических систем датчиков давления для систем измерения, контроля и диагностики технически сложных объектов |