С 92 Схемотехническое конструирование БИС преобразователя емкость - напряжение для микроэлектромеханических датчиков [Текст] / А. И. Белоус [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 8. - С. 19-19 : рис., табл. - Библиогр.: с. 19 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДИФФЕРЕНЦИАЛЬНЫЙ КОНДЕНСАТОР -- МЭМС-ТЕХНОЛОГИЯ -- ТЕХНОЛОГИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫХ СИЛ Аннотация: Рассматриваются вопросы схемотехнического конструирования БИС преобразователя емкость - напряжение для электронной схемы микромеханического сенсора общего назначения. Предлагаемая структурная схема БИС может быть использована для построения МЭМС с емкостным выходом от чувствительного элемента |
Е 92 Ефремов, Г. И. Параметры трехэлектродных электростатических микроактюаторов [Текст] / Г. И. Ефремов, Н. И. Мухуров // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 9. - С. 40-44 : рис. - Библиогр.: с. 44 (10 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- ТРЕХЭЛЕКТРОДНАЯ СИСТЕМА -- МИКРОАКТЮАТОР |
М 92 Мухуров, Н. И. Упругие элементы в микроэлектромеханических системах [Текст] / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 12. - С. 12-22 : рис. - Библиогр. : с. 21 (16 назв.)
Рубрики: ФИЗИКА Кл.слова (ненормированные): МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ СИСТЕМЫ (МЭМС) -- ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ КОНСТРУКТИВНАЯ СХЕМА -- РОТОРЫ ПОСТОЯННОГО И СТУПЕНЧАТОГО СЕЧЕНИЯ -- ОПОРЫ -- АКТИВНЫЕ СИЛЫ -- РЕАКТИВНЫЕ СИЛЫ -- УПРУГИЕ ЭЛЕМЕНТЫ -- ФОРМУЛЫ УПРГУГИХ ЛИНИЙ Аннотация: Рассмотрены МЭМС плоскопараллельной конструкции. Предложена методика расчета и анализа деформированного состояния роторов, содержащих упругие держатели и якоря, в МЭМС широкого функционального назначения. Рассчитаны и сопоставлены варианты роторов постоянного и ступенчатого исполнения с шарнирными и жесткими опорами. Представлены данные, позволяющие оперативно определить геометрические факторы, необходимые для разработки МЭМС с заданными параметрами. |
М 92 Мухуров, Н. И. Конструктивные варианты электростатических торсионных микросканеров с оптимизированными функциональными параметрами / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 1. - С. 7-15 : рис., табл. - Библиогр. : с. 15 (12 назв.) . - ISSN 1813-8586 Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МЭМС -- МИКРОСКАНЕРЫ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ -- КОНСТРУКЦИИ -- ОПТИМИЗАЦИЯ ПАРАМЕТРОВ |
Т 38 Технологический вариант реализации конструкции бис преобразователя емкость-напряжение для микроэлектромеханических датчиков / А. И. Белоус, И. В. Гасенкова [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 8. - С. 2-6 : рис., табл. - Библиогр. : с. 6 (6 наим.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ДАТЧИКИ МИКРОЭЛЕКТРОМЕХАНИЧЕСКИЕ -- КОНСТРУКЦИЯ И ТЕХНОЛОГИЯ ПОСТРОЕНИЯ -- ПРЕОБРАЗОВАТЕЛЬ ЕМКОСТЬ-НАПРЯЖЕНИЕ Аннотация: Рассмотрен один из вариантов конструктивно-технологического построения и создания БИС преобразователя емкость-напряжение для электронной схемы миниатюрных микроэлектромеханических датчиков с емкостным выходом. Предлагаемая БИС может быть использована для построения широкой номенклатуры МЭМС с емкостным выходом от чувствительного элемента на основе анодного оксида алюминия |
М 92 Мухуров, Н. И. Теоретическое моделирование плоскопараллельных двухэлектродных микроактюаторов / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 1. - С. 15-23 : рис. - Библиогр. : с. 23 (16 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОАКТЮАТОР -- НАПРЯЖЕНИЕ -- ТОК -- ЗАРЯД -- КОНСТРУКЦИЯ ПЛАНАРНАЯ Аннотация: Предложен обобщенный метод расчета двухэлектродных электромеханических актюаторов. Определены основные соотношения электрических и механических сил в электростатических, электротоковых, электрозарядных актюаторах в полном рабочем цикле. Приведены соответствующие графические зависимости расчетов в конфетных вариантах конструкции |
Ф 94 Мухуров, Н. И. Функциональные возможности электротоковых микрореле / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 3. - С. 39-42 : рис. - Библиогр. : с. 42 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОРЕЛЕ ЭЛЕКТРОТОКОВОЕ -- ТОК ЭЛЕКТРИЧЕСКИЙ -- СИЛЫ ЭЛЕКТРОМАГНИТНЫЕ И РЕАКТИВНЫЕ -- КОНСТРУКЦИЯ ПЛАНАРНО-ОБЪЕМНАЯ Аннотация: Предложена конструкция и метод теоретического моделирования электротоковых микpоpеле с меандровыми токовыми участками при равенстве и неравенстве токов. Установлено, что базовая функция в нормированном виде графически представляет собой симметричную параболу с координатами экстремальной точки m0 =0,5 и I* = 0,5. Рассмотрена эффективность переключения векторов сил электромагнитных полей с притяжения при прямом ходе на отталкивание при обратном ходе, возможность использования емкостного оперативного контроля параметров |
М 92 Мухуров, Н. И. Эффект предварительного деформирования упругих элементов электростатических микрореле. часть 1. деформированный якорь / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 8. - С. 47-50 : рис. - Библиогр. : с. 50 (9 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОРЕЛЕ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ -- ДЕФОРМИРОВАНИЕ УПРУГИХ ЭЛЕМЕНТОВ -- КОНСТРУКЦИЯ ПЛАНАРНАЯ И ОБЪЕМНАЯ Аннотация: Рассмотрен эффект создания внутренних механических напряжений в электростатических микрореле за счет деформирования упругих подвижных элементов. Исследованы варианты с упругодеформированным якорем в объемном и планарном конструктивном исполнении. Приведены основные математические соотношения и примеры конструкций |
М 92 Мухуров, Н. И. Эффект предварительного деформирования упругих элементов электростатических микрореле. часть 2. деформированные держатели / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2011. - № 9. - С. 25-28 : рис. - Библиогр. : с. 28 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОРЕЛЕ ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКОЕ -- КОНСТРУКЦИЯ ОБЪЕМНАЯ И ПЛАНАРНАЯ -- ДЕФОРМИРОВАНИЕ ДЕРЖАТЕЛЕЙ -- СИЛЫ МЕХАНИЧЕСКИЕ РЕАКТИВНЫЕ -- СИЛЫ ЭЛЕКТРОСТАТИСТИЧЕСКИЕ АКТИВНЫЕ Аннотация: Исследованы варианты электростатических микрореле с упругодеформированными держателями в объемном и планарном конструктивном исполнении. Рассмотрен эффект создания внутренних механических напряжений в электростатических микрореле за счет деформирования держателей. Приведены основные математические соотношения и примеры конструкций |
М 92 Мухуров, Н. И. Электростатический микроактюатор с расширенными функциональными возможностями / Н. И. Мухуров // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 5. - С. 27-30 : рис. - Библиогр.: с. 30 (6 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МИКРОАКТЮАТОР ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЙ -- ФУНКЦИИ УПРАВЛЕНИЯ И КОНТРОЛЯ -- КОНСТРУКЦИЯ ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ Аннотация: Предложена конструкция плоскопараллельного электростатического микроактюатора, выполняющего расширенный ряд независимых функций управления и контроля |
М 92 Мухуров, Н. И. Электростатические микрокоммутаторы. Часть 1. Плоскопараллельные включающие микрокоммутаторы / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 10. - С. 42-48. - Библиогр.: с. 48 (14 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ ВКЛЮЧАЮЩИЕ МИКРОКОММУТАТОРЫ -- ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ КОНСТРУКЦИЯ -- ФОРМУЛЫ РАСЧЕТА ОСНОВНЫХ ПАРАМЕТРОВ Аннотация: Рассмотрены теоретические основы и проведены расчеты параметров электростатических включающих микрокоммутаторов плоскопараллельной конструкции. Применена методика расчета с учетом равенства активных электростатических и реактивных механических сил с разделением в рабочем цикле параметров на постоянные (конструктивная константа) и переменные (базовая функция) составляющие. Получены формулы эффективного вычисления основных параметров |
М 92 Мухуров, Н. И. Электростатические микрокоммутаторы. Часть 2. торсионные включаюшие микрокоммутаторы / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника. - 2013. - № 11. - С. 39-43. - Библиогр.: с. 43 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ ВКЛЮЧАЮЩИЕ МИКРОКОММУТАТОРЫ -- ТОРСИОННАЯ КОНСТРУКЦИЯ -- МЕХАНОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ АКТЮАТОРЫ -- ФОРМУЛЫ РАСЧЁТА ОСНОВНЫХ ПАРАМЕТРОВ Аннотация: Проведены расчеты параметров включающих микрокоммутаторов торсионной конструкции. Предложены механоэлектрические актюаторы, показаны их особенности и преимущества. Получены формулы оперативного вычисления основных параметров |
М 92 Мухуров, Н. И. Электростатические микрокоммутаторы. Часть 3. Переключающие микрокоммутаторы / Н. И. Мухуров, Г. И. Ефремов, С. П. Жвавый // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 1. - С. 45-51. - Библиогр.: с. 51 (3 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ЭЛЕКТРОСТАТИЧЕСКИЕ ПЕРЕКЛЮЧАЮЩИЕ МИКРОКОММУТАТОРЫ -- ПЛОСКОПАРАЛЛЕЛЬНАЯ И ТОРСИОННАЯ КОНСТРУКЦИИ -- МЕХАНОЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ АКТЮАТОРЫ -- ФОРМУЛЫ РАСЧЁТА ОСНОВНЫХ ПАРАМЕТРОВ -- ПРИМЕРЫ КОНСТРУКЦИЙ Аннотация: Рассмотрены теоретические основы и проведены расчеты параметров переключающих микрокоммутаторов плоскопараллельной и торсионной конструкций. Предложены механоэлектрические актюаторы, показаны их особенности и преимущества. Получены формулы оперативного вычисления основных параметров. Приведены примеры конструкций |