В 64 Возможности формирования МЭМС-варакторов с электростатическим управлением в GaAs-технологии / П. П. Мальцев, А. П. Лисицкий, А. Ю. Павлов, Н. В. Щаврук, Н. В. Побойкина, В. Д. Хачатрян // Нано- и микросистемная техника . - 2012. - № 9. - С. 28-33 : рис., табл. - Библиогр.: с. 33 (21 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ВАРАКТОР -- ВАРАКТОР С ПЕРЕМЕННОЙ ПЛОЩАДЬЮ -- РАДИОЧАСТОТА -- ВАРАКТОР С ПЕРЕМЕННЫМ ДИЭЛЕКТРИКОМ -- СИСТЕМА НА КРИСТАЛЛЕ -- ВАРАКТОР С ПЕРЕМЕННЫМ ЗАЗОРОМ -- МИС -- МЭМС Аннотация: Приведен обзор возможных технических решений варакторов, выполненных в виде конденсаторов переменной емкости по технологии микроэлектромеханических систем (МЭМС). Дана оценка пригодности этих решений и возможности их изготовления на подложках арсенида галлия в целях обеспечения интеграции МЭМС-варакторов с СВЧ приборами на одном кристалле с использованием одних технологических приемов. Данная интеграция позволит создавать систему на кристалле (СнК), что обеспечит экономическую выгоду и уменьшит размеры системы в целом |
И 88 Исследование малосигнальных и шумовых характеристик метаморфных транзисторов для монолитных интегральных схем в крайневысокочастотном диапазоне / П. П. Мальцев, Д. Л. Гнатюк, Ю. В. Федоров , А. В. Зуев, Р. Р. Галиев, Н. В. Побойкина // Нано- и микросистемная техника . - 2013. - № 6. - С. 29-31 : рис. - Библиогр.: с. 31 (5 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): МОНОЛИТНАЯ ИНТЕГРАЛЬНАЯ СХЕМА -- ГЕТЕРОСТРУКТУРА МЕТАМОРФНАЯ -- УСИЛИТЕЛЬ МАЛОШУМЯЩИЙ -- УСИЛИТЕЛЬ МОЩНОСТИ Аннотация: Описаны результаты научно-исследовательской работы, проведенной ИСВЧПЭ РАН, в которой созданы экспериментальные образцы метаморфных гетероструктур для изготовления на их основе монолитных интегральных схем усилителя мощности и малошумящего усилителя диапазона рабочих частот 57...64 ГГц и исследованы характеристики изготовленных тестовых транзисторов |
П 41 Побойкина, Н. В. Использование алмаза в качестве теплоотводяшего элемента: методы и устройства вырашивания алмазных пленок и пластин / Побойкина // Нано- и микросистемная техника. - 2014. - № 3. - С. 23-27. - Библиогр.: с. 27 (17 назв.) . - ISSN 1813-8586
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ Кл.слова (ненормированные): ПОЛИКРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ АЛМАЗНЫЕ ПЛЕНКИ -- CVD-МЕТОД -- ПЛАСТИНЫ Аннотация: Приводится краткий обзор организаций, занимающихся в России выращиванием поликристаллических алмазных пленок. Рассмотрены наиболее распространенные в мире конструкции СВЧ плазменных технологических установок |