Инвентарный номер: нет.
   
   Т 34


    Теплова , Т. Б.
    Физико-технологические принципы получения нанометрового рельефа поверхности при обработке твердых хрупких материалов электронной техники [Текст] / Т. Б. Теплова // Нано- и микросистемная техника . - 2008. - № 7. - С. 33-37 : рис. - Библиогр.: с. 37 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
НАНОМЕТРОВЫЙ РЕЛЬЕФ -- ТВЕРДЫЕ ХРУПКИЕ МАТЕРИАЛЫ -- ПОВЕРХНОСТЬ -- ШЛИФОВАНИЕ


Инвентарный номер: нет.
   
   М 74


   
    Моделирование процесса квазипластичной поверхностной обработки твердых хрупких материалов электронной техники / Т. Б. Теплова , О. М. Гридин [и др.] // Нано- и микросистемная техника . - 2010. - № 11. - С. 17-23 : рис., табл. - Библиогр. : с. 23 (7 назв.) . - ISSN 1813-8586
УДК
ББК 623.7
Рубрики: ТЕХНИКА. ТЕХНИЧЕСКИЕ НАУКИ
Кл.слова (ненормированные):
МАТЕРИАЛЫ КРИСТАЛЛИЧЕСКИЕ ТВЕРДЫЕ -- ОБРАБОТКА ПОВЕРХНОСТНАЯ КВАЗИПЛАСТИЧНАЯ -- МИКРОЭЛЕКТРОНИКА
Аннотация: В настоящее время появляется значительный интерес к использованию в микроэлектронике очень твердых кристаллических материалов, таких как сапфир или алмаз. Для их применения требуется высококачественная обработанная поверхность с минимальной дефектностью подповерхностного слоя. Квазипластичное послойное разрушение сверхтонких слоев в твердых материалах их обработке было исследовано в наших экспериментах