Изучение нестехиометрических соединений дифракционными методами обнаружило разнообразные эффекты диффузного рассеяния, обусловленные формированием ближнего порядка, связанного с замещением атомов и вакансий (или атомов разного сорта) или с атомными смещениями. Рассмотрены экспериментальные результаты по ближнему порядку в нестехиометрических соединениях, полученные из данных по диффузному рассеянию нейтронов и рентгеновского излучения, по дифракции электронов. Показано, что перераспределение неметаллических атомов и структурных вакансий в неупорядоченных нестехиометрических карбидах, нитридах, оксидах или взаимозамещаемых металлических атомов в твердых растворах нестехиометрических соединений на стадии, предшествующей образованию дальнего порядка, приводит к появлению на дифракционных картинах максимумов диффузной интенсивности. Обсуждено применение кластерной модели переходного состояния для описания топологии интенсивности диффузного рассеяния в нестехиометрических соединениях с ближним порядком замещения. Показано, что протяженные плоские области диффузного рассеяния, наблюдаемые на дифракционных картинах упорядоченных фаз и не проходящие через структурные узлы обратной решетки, обусловлены возникновением волн атомных смещений.