Диагностика топографии поверхности пленочных наноструктур методами растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии

Ромашев Л. Н. Диагностика топографии поверхности пленочных наноструктур методами растровой электронной и сканирующей зондовой микроскопии / Л. Н. Ромашев, И. Г. Григоров, Б. А. Логинов // Третья всероссийская конференция по наноматериалам (НАНО 2009), Екатеринбург, 20-24 апреля 2009 г. : тез. докл. / РАН, УрО, Ин-т физики металлов [и др.]. - Екатеринбург, 2009. - С. 870.

Год: 

2009

Связанные персоналии: 

Нет

Рубрики: 

  • Техника. Технические науки, Технология металлов. Машиностроение. Приборостроение, Физика

Вид издания: 

  • тезисы


h1