Учебник предназначен для студентов специальности 210101 - Физическая электроника направления подготовки дипломированных специалистов 654100 - Электроника и микроэлектроника, аспирантов и научных работников. Рассмотрены электронные и ионные процессы, происходящие в газоразрядных системах низкого давления. Описаны основные понятия теории атомных столкновений и подходы, используемые для анализа движения заряженных частиц в таких системах. Представлены экспериментальные и теоретические результаты по изучению различных систем, используемых для зажигания разряда при пониженных давлениях газа. Обсуждаются проблемы, связанные с генерацией однородной плазмы и отбором значительной доли заряженных частиц для формирования интенсивных пучков. Книгу можно применять в качестве учебного пособия для студентов и аспирантов физических специальностей, в том числе по курсу «Физика электронных и ионных процессов».