С использованием модели точечных дефектов описан процесс образования структурных вакансий в соединениях переменного состава. На примере нитридов гитана и циркония методами математической статистики доказана зависимость энергии образования вакансий и колебательной энтропии от состава соединений, найдены значения этих величин.