Газофазное осаждение тантала на молибденовую подложку / О. Ю. Гончаров, А. В. Трубачев, Р. Р. Файзуллин, М. Г. Шадрин // XIV Уральская школа металловедов-термистов "Фундаментальные проблемы физического металловедения перспективных материалов", Ижевск, 23-27 февраля 1998 г. - Ижевск ; Екатеринбург, 1998. - С. 224-225.
Документ доступен в ЦНБ УрО РАН:
Нет
Год:
1998
Связанные персоналии:
Нет
Рубрики:
- Технология металлов. Машиностроение. Приборостроение
Вид издания:
- тезисы