Исследовано испарение нестехиометрических кубических карбидов МС^, ванадия, ниобия и тантала в вакууме в интервале температур 2070 - 2670 К. Установлено, что с ростом температуры состав конгруэнтно испаряющегося карбида ванадия смещается к верхней границе его области гомогенности, а составы конгруэнтно испаряющихся карбидов ниобия и тантала — к нижней границе области гомогенности соответствующих кубических карбидных фаз. Определены скорости испарения и рассчитаны парциальные давления металлов и углерода над изученными карбидами.