Нанесение тонких пленок тугоплавких материалов методом имплантации в пучке мощного импульсно-периодического лазерного излучения

Нанесение тонких пленок тугоплавких материалов методом имплантации в пучке мощного импульсно-периодического лазерного излучения / В. В. Осипов, М. Г. Иванов, К. В. Молочнов [и др.] // Физикохимия ультрадисперсных систем : сборник научных трудов V Всероссийской конференции. - Екатеринбург, 2001. - Ч. II. - С. 231-239.

Документ доступен в ЦНБ УрО РАН: 

Нет

Год: 

2001

Связанные персоналии: 

Нет

Рубрики: 

  • Технология металлов. Машиностроение. Приборостроение, Химические науки

Вид издания: 

  • доклад


h1