Нанесение тонких пленок тугоплавких материалов методом имплантации в пучке мощного импульсно-периодического лазерного излучения / В. В. Осипов, М. Г. Иванов, К. В. Молочнов [и др.] // Физикохимия ультрадисперсных систем : сборник научных трудов V Всероссийской конференции. - Екатеринбург, 2001. - Ч. II. - С. 231-239.
Документ доступен в ЦНБ УрО РАН:
Нет
Год:
2001
Связанные персоналии:
Нет
Рубрики:
- Технология металлов. Машиностроение. Приборостроение, Химические науки
Вид издания:
- доклад