Лебедева Н. И. Отжиг полупроводников низкоэнергетичными импульсными электронными пучками / Н. И. Лебедева, Г. А. Месяц // Сильноточные импульсные электронные пучки в технологии : сборник. - Новосибирск, 1983. - С. 39-55.
Год:
1983
Связанные персоналии:
Нет
Рубрики:
- Физика
Вид издания:
- статья из сборника
Коллекции:
Нет