Отжиг полупроводников низкоэнергетичными импульсными электронными пучками

Лебедева Н. И. Отжиг полупроводников низкоэнергетичными импульсными электронными пучками / Н. И. Лебедева, Г. А. Месяц // Сильноточные импульсные электронные пучки в технологии : сборник. - Новосибирск, 1983. - С. 39-55.

Год: 

1983

Связанные персоналии: 

Нет

Рубрики: 

  • Физика

Вид издания: 

  • статья из сборника

Коллекции:
Нет

h1