Предложена новая методика, дающая возможность восстанавливать концентрационный профиль и локальное атомное строение металлических многослойных плёнок из данных по зависимости EXAFS-спектров от угла падения первичного пучка. Локальное атомное строение может быть определено для любой глубины от поверхности образца, что позволяет изучать изменение атомной структуры внутри слоёв и на интерфейсах между ними. Возможности методики демонстрируются при помощи модельных расчётов для трёхслойной системы Cr/Fe/Cr. Получены первые экспериментальные результаты для тонких плёнок Сr, нанесённых на сапфировую подложку.