Применение ультрамягкой рентгеновской спектроскопии для аттестации слоев SiOx, содержащих нанокристаллы кремния / В. И. Аксенова, С. Н. Шамин, В. Р. Галахов, И. В. Антонова // Химия твердого тела и функциональные материалы : всероссийской конференции : тезисы докладов. - Екатеринбург, 2008. - С. 7.