Посредством статистической термодинамики с использованием статистической обработки экспериментальных данных рассмотрен процесс высокотемпературного вакуумного испарения тугоплавких соединений переменного состава и найден вид функциональном зависимости равновесной концентрации структурных вакансии. Рассчитаны энергии образования структурных вакансии в карбидах циркония и ниобия, а также теплоты образования этих соединении в областях их гомогенности. Сопоставление рассчитанных и экспериментальных данных показало хорошее согласие между ними.