Разработка субфторидного способа получения высокочистого кремния

Водопьянов А. Г. Разработка субфторидного способа получения высокочистого кремния / А. Г. Водопьянов, Г. Н. Кожевников, В. Г. Кузьмин // Проблемы и перспективы развития металлургии и машиностроения с использованием завершенных фундаментальных исследований и НИОКР : труды научно-технической конференции (Екатеринбург, 16-17 июня 2011 г.) / РАН, УрО, Ин-т металлургии [и др.]. - Екатеринбург, 2011. - Т. 1. - С. 306-308.

Год: 

2011

Связанные персоналии: 

Нет

Рубрики: 

  • Технология металлов. Машиностроение. Приборостроение

Вид издания: 

  • статья из сборника трудов конференции


h1