Методами рентгеновской дифракции и оптической микроскопии изучено упорядочение нестехиометрических карбонитридов ванадия VCxNy (x + y = 0.85). Установлено, что при упорядочении карбонитридов VCxNy в зависимости от их состава образуются сверхструктуры V6(C,N)5 и V8(C,N)7, имеющие структуры типа V6C5 и V8C7. В неметаллической подрешетке наблюдаемых сверхструктур атомы C и N образуют одну подрешетку, а структурные вакансии другую. Распределение атомов C и N в своей подрешетке является статистическим. Таким образом, при упорядочении карбонитридов ванадия образуются подрешетка атомов внедрения и подрешетка вакансий, а разделения на углеродную и азотную подрешетки не происходит. Образование в карбонитридах ванадия сверхструктур типа V6C5 и V8C7 сопровождается измельчением зерен исходной неупорядоченной фазы на домены упорядоченной фазы размером 2040 нм и формированием в компактном образце наноструктуры. Образование доменов происходит на границах и поверхности зерен неупорядоченной фазы.