Определен ансамбль фигур, необходимых для анализа атомно-вакансионного упорядочения в нестехиометрических соединениях М2Ху (М2Ху□[1-у) с гексагональной структурой L/3 с помощью метода функционала параметров порядка. Исходя из геометрии кристаллической решетки показано, что для описания соединений М2Ху со структурой L′3 нужно использовать базисный кластер в виде тригональной призмы из шести узлов неметаллической подрешетки с атомом металла в центре. Найдены фигуры перекрытия, образующие вместе с базисным кластером последовательность особых фигур, однозначно описывающую структуру L′3. В общем виде определены равновесные условия превращений беспорядок-порядок в нестехиометрических соединениях М2Ху.