Методом электронной просвечивающей микроскопии исследована тонкая структура нестехиометрического соединения YBa2Cu3O7-δ после низкотемпературного отжига (200 °С, 100 часов) в атмосфере вакуума (р = 10-2, 20 и 100 мм. рт. ст.) и гелия. Показано, что при низкотемпературном отжиге в вакууме распад протекает крайне слабо и наблюдаются структуры, характерные для ранних стадий распада. В атмосфере гелия распад протекает достаточно интенсивно, и реализуются структуры, характерные для глубоких стадий распада.