Методом рентгеновской дифракции экспериментально изучено влияние энергии размола и нестехиометрии кубического карбида тантала TaCy (0.81≤ y≤0.96) на анизотропию деформации кристалла и размер частиц нанокристаллических порошков. Получена функциональная зависимость приведенного уширения дифракционных отражений от вектора рассеяния, учитывающая вклады размерного, деформационного и негомогенного уширения. Оценены средний размер областей когерентного рассеяния и величина микронапряжений в кристаллитах, учитывающая анизотропию деформационных искажений. Показано, что учет анизотропии микронапряжений и негомогенного уширения позволяет достичь более точного описания экспериментальных данных по уширению дифракционных отражений.