В книге рассмотрены наиболее распространенные методы получения пленок, применяемые в настоящее время, приведена классификация методов на основе механизма формирования пленки и фазового состояния осаждаемого материала. В связи с определяющим влиянием микроструктуры пленок на их функциональные свойства проведен анализ факторов, влияющих на закономерности зарождения, роста и эволюции пленок. Обобщен и систематизирован опыт зарубежных и российских исследователей в области получения пленочных электролитов для твердооксидных топливных элементов, проанализировано влияние технологии и параметров процесса осаждения на микроструктуру получаемых пленок. Книга рассчитана на широкий круг исследователей, как начинающих студентов и аспирантов, так и специалистов в области химии и физики твердых тел, электрохимии, а также читателей, интересующихся технологиями осаждения тонких пленок, проблемами твердооксидных электролитов и топливных элементов на их основе.