Проведено исследование восстановления структуры и сверхпроводящих свойств нестехиометрического Ва2YСu3O7-δ с различным содержанием кислорода после низкотемпературного (t=200 и 300°С) распада. Показано, что отжиги распавшихся образцов при температурах выше области распада (400-900°С) не приводят к полному восстановлению структуры и электрофизических свойств, что связано с дефектностью в катионных подрешетках, возникающих в ходе распада. Степень восстановления тем меньше, чем более глубоко прошел распад.