Методом просвечивающей электронной микроскопии высокого разрешения (HTEM) при увеличении в 4· 106 раз в нестехиометрическом упорядоченном монооксиде титана удалось наблюдать структурные вакансии. Наблюдение структурных вакансий в монооксиде титана стало возможным благодаря их упорядочению и образованию в определенных кристаллографических направлениях сквозных вакансионных каналов. Для ориентировки образца в направлении, позволяющем наблюдать вакансионные каналы, использована микродифракция. Просвечивающая электронная микроскопия с увеличением в десятки тысяч раз показала, что зерна монооксида титана не содержат трещин и макропор и подтвердила, что свободный объем, обнаруженный в монооксиде титана пикнометрическим методом, сосредоточен в структурных вакансиях титановой и кислородной подрешеток.